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장비정보

제작사
Keithley Instruments
모델 명
4200A-SCS

내용연수
10년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
전기/전자장비 > 측정시험장비 > 전압/전류/전력측정시험장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2026-01-12

취득금액
198,000,000원
인증정보
없음
기능
본 시스템은 4200A-SCS 파라미터 분석기와 707B 스위치 매트릭스 메인프레임, 7072 스위치 카드로 구성된 패키지 및 웨이퍼 반도체 소자 전기적 특성 분석 시스템임.
패키지 및 웨이퍼 상태의 반도체 소자 및 재료를 대상으로 전류-전압(I-V), 커패시턴스-전압(C-V), 초고속 펄스형 I-V(PIV) 측정이 가능한 통합 분석 시스템임.

본 장비는 MOSFET, BJT, 다이오드, GaN, SiC 등 다양한 반도체 소자의 전기적 특성 분석에 활용됨. 10aA~1A 전류, 0.2µV~210V 전압 범위의 정밀 측정이 가능하며, ±40V(80V p-p), ±800mA, 최대 200MSa/sec, 5ns 샘플링 속도의 펄스형 I-V 측정을 지원함.

707B 및 7072 기반의 다채널 스위칭 구성을 통해 다수의 디바이스에 대한 자동화된 측정 환경 구축이 가능함. 이를 통해 측정 효율성과 재현성을 향상시키며, 반도체 소자의 연구개발(R&D), 신뢰성 평가 및 고장 분석을 위한 핵심 분석 시스템임.
장비 상세설명
1) 4200A-SCS (고성능 파라미터 분석기) 역할
- 반도체 소자 전기적 특성 측정의 메인 측정부 역할을 수행함.
- I-V, C-V, 펄스형 I-V(PIV) 측정을 단일 플랫폼에서 통합 수행 가능함.
- 초저전류/고임피던스 영역 측정이 요구되는 소자(게이트 누설, 절연막 특성 등) 분석에 적합함.

2) 707B (6슬롯 스위치 매트릭스 메인프레임) 역할
- 측정 장비(4200A-SCS)와 DUT 간 연결을 자동화하는 다채널 스위칭/라우팅 허브 역할임.
- 반복 측정 시 배선 변경 없이 채널을 전환하여 측정 시간 단축 및 인적 오류 저감이 가능함.
- 테스트 셋업 표준화를 통해 데이터 재현성 확보에 기여함.

3) 7072 (8×12 매트릭스 스위치 카드) 역할
- 8×12 매트릭스 구성을 통해 다수 DUT/핀을 유연하게 매핑하는 스위칭 모듈임.
- 저전류 및 고임피던스 측정에 최적화된 스위칭 환경을 제공하여 누설/미소전류 측정 신뢰도 향상에 기여함.
- 707A/707B/708A/708B 메인프레임과의 호환성이 확보된 모듈임.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 10,850원

장비설명

본 장비는 4200A-SCS 파라미터 분석기와 707B 스위치 매트릭스 메인프레임, 7072 스위치 카드로 구성된 패키지 및 웨이퍼 반도체 소자 전기적 특성 분석 시스템임.
패키지 및 웨이퍼 상태의 반도체 소자 및 재료를 대상으로 전류-전압(I-V), 커패시턴스-전압(C-V), 초고속 펄스형 I-V(PIV) 측정을 통합 수행할 수 있는 고성능 분석 장비임.

본 시스템은 MOSFET, BJT, 다이오드, GaN, SiC 등 다양한 반도체 소자의 전기적 특성 평가에 활용되며, 10aA~1A 전류, 0.2µV~210V 전압 범위의 정밀 측정이 가능함. 또한 ±40V(80V p-p), ±800mA, 최대 200MSa/sec, 5ns 샘플링 속도의 펄스형 I-V 측정을 지원하여 고속 스위칭 특성 및 열화 거동 분석이 가능함.

707B 및 7072 기반의 다채널 스위칭 구성을 통해 다수 디바이스의 자동화된 측정 환경 구축이 가능하며, 측정 효율성과 데이터 재현성을 향상시킴. 본 장비는 반도체 소자의 연구개발(R&D), 신뢰성 평가 및 고장 분석을 위한 핵심 전기적 특성 분석 시스템임.

장비 구성 및 성능

○ 4200A-SCS : 100-240V, 50-60Hz, max 1000VA, 29.7kg, max current 2.6A, max four SMU slot, 15.6 inch LCD (capacitive touchscreen), Output Terminal Connection (Dual triaxial, 5-way binding post)

○ 4201-SMU : ±210 V/100 mA or ±210 V/1 A modules, 100 fA measure resolution, 10 aA measure resolution with optional preamp, 10 mHz ~ 10 Hz very low frequency capacitance measurements, 100 μF load capacitance, 4-quadrant operation, 2 or 4-wire connections

○ 4200-PA : Remote preamplifier module, Measure resolution (0.2 μV, 10 aA), shunt resistance (>1016 Ω (1 pA and 10 pA ranges), >1013 Ω (100 pA.100 nA ranges)

○ 4225-PMU, 4225-RPM
- Amplitude 50Ω into 50Ω ; -10V p-p to 10 V p-p(10V range), -20 V p-p to 20 V p-p(40V range)

○ 707A, 7072
- 슬롯 구성: 최대 6개의 8×12 매트릭스 카드 설치 가능

○ 8101-PIV
Keithley 8101-PIV는 반도체 패키지소자 DC 및 펄스 I-V 측정을 위한 픽스처로, 패키지 반도체 소자의 전기적 특성 평가에 사용되는 장비입니다. 특히 Keithley의 4200A-SCS, 2600 시리즈 SMU와 함께 사용되어, 소자 테스트의 정확성과 효율성을 높여줍니다.

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