Andor

없음

- 본 장비는 X-ray 및 EUV 대역의 광 신호를 검출할 수 있는 CCD 이미지 센서로 펠리클의 투과도를 분석하기 위한 검출기로 활용됨. CCD 센서를 구성하는 픽셀의 가로 및 세로 길이는 13.5 μm이며, 픽셀 수는 2048*512로 active area는 27.6*6.9 mm이다. 본 장비는 100%의 fill factor와 최대 95%의 양자 전환 효율을 가지므로, 높은 감도로 EUV 광학 신호를 측정할 수 있다.

- 본 장비는 X-ray 및 EUV 광학 신호를 높은 감도로 측정할 수 있는 픽셀 배열 기반의 영상 검출 장비로, EUV 신호의 분포를 측정 함으로써 펠리클 투과도의 균일도를 평가하는 데 활용될 수 있음. 더불어, 광학 신호의 공간적 분포를 측정할 수 있으므로, 회절 격자를 도입하면 EUV 광학 신호의 분광기로 활용될 수 있음.