세정로봇

없음

1. 반도체 공정용 웨이퍼 반송 로봇(Wafer Transfer Robot) 성능 및 정밀도 실증
2. 로봇의 반복 정밀도, 위치 오차 보정, 공정 연동성 등 실 환경 기반 시연 및 검증
3. 로봇 기반 웨이퍼 세정 공정 구현을 통한 반송 로봇 적용 가능성 실증

웨이퍼 반송 로봇(WTR, Wafer Transfer Robot)을 활용한 반도체 세정 공정 로봇화 실증을 위한 장비로, 반도체 기업 및 로봇 기업에서 실제 공정에 적용 가능성을 검토하고 필요한 교육을 지원하기 위한 장비입니다.
1. 실제 반도체 공정에서 사용하는 LPM(Load Port Module) 기능 구현
2. 300mm 웨이퍼 전용 WTR(Wafer Transfer Robot) 시스템 기능
3. PLC 기반 로봇 및 시스템 통합 제어 기능
4. HMI Monitor 활용 로봇 및 세정 모듈 시스템 단위별 수동 조작 기능
5. 로봇의 성능(속도, 위치 반복 정밀도, 응답성 등)의 정량 데이터 지원 기능