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장비정보

제작사
뉴로메카
모델 명
반도체 제조 공정간 이송로봇 실증장비

내용연수
10년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
기계가공/시험장비 > 자동화/이송장비 > 로봇

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2026-02-27

취득금액
165,000,000원
인증정보
없음
기능
1. 반도체 공정에서 활용 가능한 자율주행로봇의 성능 실증
2. 반도체 공정 테스트베드에서의 정적·동적 장애물 회피 성능 평가
3. 반도체 FOUP 이송 과정의 전/후 공정 데이터 분석 및 병목 현상, 지연 요인 분석
장비 상세설명
자율주행로봇(모바일 매니퓰레이터)을 활용한 반도체 공정 무인화 및 로봇화 실증을 위한 장비로, 반도체 기업 및 로봇 기업에서 실제 공정에 적용 가능성을 검토하고 필요한 교육을 지원하기 위한 장비입니다.
1. 모바일 매니퓰레이터 구조를 통한 자율주행 시스템 구현
2. 300mm Wafer FOUP(Front-Opening Unified Pod) 운송 및 공정 장비 안착 기능 수행
3. LiDAR, 비전을 활용한 장애물 회피 알고리즘 적용
4. 2자유도 스티어링 바퀴 모듈 기반 직진 제어와 전방향 구동 제어 가능

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 9,900원

장비설명

자율주행로봇(모바일 매니퓰레이터)을 활용한 반도체 공정 무인화 및 로봇화 실증을 위한 장비로, 반도체 기업 및 로봇 기업에서 실제 공정에 적용 가능성을 검토하고 필요한 교육을 지원하기 위한 장비입니다.

장비 구성 및 성능

1. 모바일 로봇 플랫폼
- 크기 : 600mm x 800mm x 650mm
- 가반하중 : 150kg
- 구동 : 2자유도 스티어링 바퀴 구동
- 센서 : 2D LiDAR 센서
- 주행속도 : 0.5m/s
- 주행방식 : 자율주행

2. 매니퓰레이터(협동로봇)
- 가반하중 : 12kg
- 작업반경 : 1,200mm
- 반복정밀도 : ± 0.1mm

3. 충전 스테이션 : AC 110-220V 10A/ DC24V 45A(무선 도킹)

4. 비전카메라
- Processing Time : 250~1500m/img
- Fied of View : (H/V/D) 86˚±5˚/ 70˚±5˚/ 100˚±5˚
- Interface : USB 2.0
- Working distance : 5cm-70cm

5. 로봇 S/W 기능
- 3차원 공간에서의 임피던스 제어 알고리즘
- 기구학적 특이점 기반 안정적인 작업공간 제어
- 충돌감지 기반 ‘전원 및 힘 제어 기능’
- TCP/IP, 모드버스 OPC-UA 등 외부 제어 인터페이스

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