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장비정보

제작사
KEYENCE
모델 명
VK-X3000

내용연수
11년
구분
주장비

용도
계측
표준 분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 공초점현미경

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-08-13

취득금액
169,000,000원
인증정보
없음
기능
(1) 측정광학계 : 3가지 광학계를 이용하여 정밀한 측정 가능 (레이저 공초점, 포커스베리에이션, 백색간섭)
-레이저 광원을 이용한 시편 표면의 거칠기 측정 (고해상도, 고정밀 측정)
-일반 광원을 이용한 입체 형상 측정 (고속, 대면적 측정)
-백색 간섭문의를 이용한 미세형상 측정 (대면적, 고정밀 측정)
(2) 오토포커스 기능 포함
-레이저 광원을 이용한 금속 시편, 투명한 플라스틱 및 유리기판 등의 정확한 포커스 위치에서 측정
(3) 전동 리볼버: 동축 광원 및 링 조명 광원 포함. 대물렌즈 5종 포함(5~150배)
(4) 검출기: 포토멀티플라이어, C-MOS 카메라
장비 상세설명
(장비의 역할 및 성능)
레이저 광원을 이용한 시료의 3차원 표면 형상 측정
시료의 거칠기 분석 및 면적 계산 가능
금속 용접 시편의 마이크로 조직(texture) 분석 가능, 결정립 크기 면적 계산 가능
자동 시스템으로 모든 작동은 소프트웨어를 이용하여 조정 가능
단파장 레이저를 이용한 투명체 및 고분자 물질 관측 가능
HDR 모드를 통한 고품질 이미지 제공
막 두께 측정 가능

이용안내

사용형태
직접사용

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 16,500원

장비설명

(과제목적)
원전 밸브 등의 기계부품의 용접부 결함 분석, 클래딩 표면의 거칠기(조도) 분석, 녹제거와 같은 레이저 클리닝 공정후 표면 거칠기 분석, 레이저 클래딩 시편의 레이저 폴리싱 공정후 표면 거칠기 분석

(주요 기능 및 역할)
Z축이 전동으로 되어 있어, Z축을 자동으로 이동하면서 이미지를 심도합성하여, 정확한 거칠기 측정 가능. 또한 레이저 광원을 이용한 정밀하고 정확한 측정 가능
일반 광학현미경으로 측정 및 분석할수 있는 기능이 모두 포함되어 있음

장비 구성 및 성능

(장비구성)　
현미경 헤드 : 레이저 광원 (레드 파장의 반도체 레이저 광원),
대물 렌즈(objective lens) : 5배, 10배, 20배, 50배, 150배 lens
전동 스테이지 : 모터 동작, 4인치 크기 시편 로딩 가능
제진대 및 워크테이블 포함

(장비성능)
표면 거칠기(조도) 측정 : 마이크로~나노미터 크기 스케일
선/면 거칠기 측정, 사진 붙이기 기능을 통한 파노라마 이미지 획득 가능
레이저 공초점 기능을 이용한 정밀한 측정 가능

(소프트웨어)
VK-X3000 모델의 전용 소프트웨어 (명: VK-X3000관찰 애플리케이션)
- 선 거칠기, 표면 거칠기 계측 등

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