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장비정보

제작사
Rigaku
모델 명
SmartLab

내용연수
10년
구분
주장비

용도
시험
표준 분류
화합물 전처리·분석장비 > 분광분석장비 > X-선회절분석기

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-08-01

취득금액
545,685,380원
인증정보
없음
기능
1. X-ray generator : 9kW(Max. 45kV, 200mA)
- X-ray source : Cu target
2. Detector : Hybrid multi-diodes detector
- Scan mode : 2D, 1D, 0D
3. Goniometer radius : 300mm
4. Slit optics
- Incident : Ge(220) 2-bounce & 4-bounce
- Receiving : Ge(220) 2-bounce
5. Stage 6축(Theta, 2Theta, Chi, Phi, Rx-Ry or XY) 회전 크래들을 통해 최대8인치 시료 장착 가능(분석영역 4인치)
6. In-Plane arm : 2θχ/φ scan, -3 ~ +120°
장비 상세설명
9kW의 고출력 X선을 통한 미량 물질의 결정상 분석
극박막 또는 다층막 시료에 대해 일반 GI(Grazing Incident) 측정
Out-of-Plane 스캔 축으로 측정이 불가한 극박막 시료에 대한 In-Plane 측정
XRR(X-Ray Reflectivity) 측정을 통한 단일막/다층막 두께, 거칠기, 밀도 분석

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
건별

장비 사용료
[EA] 50,000원

장비설명

X선 회절분석기(XRD)는 X선을 시료에 조사하여 시료 내부의 결정 구조로부터 회절된 X선 패턴을 분석하는 기법으로 물질의 상(Phase)과 결정 구조, 격자 상수, 입도 크기 등을 확인할 수 있다. XRD는 시료의 내부 구조를 비파괴적으로 분석할 수 있어 물질의 조성, 결정성, 미세구조를 연구하는 데 사용된다. 특히, 높은 분해능과 정밀도를 통해 다양한 고체 물질의 특성을 분석하며, 특정한 각도에서 X선 회절 강도를 측정하여 결정 구조를 확인하는 데 매우 유용하다.

장비 구성 및 성능

▶ X-ray generator : 9 kW, Cu target
▶ Goniometer
- Type : Theta(s)-Theta(d) geometry
- Radius : 240 mm or more
- 2Theta range (Out-of-Plane) : -10 to +162 deg or more
- Chi-axis : -5 to +95 deg or more
- Phi-axis : -360 to +360 deg or more
- Rx-axis & Ry-axis : ±5 deg or more
- 2theta/chi-axis (In-Plane) : -3 to +120 deg or more
▶ Optics
- Incident optics for Parallel beam : Parabolic multi-layer mirror
- Incident channel-cut crystal : Ge(220) 2-bounce & Ge(220) 4-bounce
- Receiving analyzer : Ge(220) 2-bounce or more
▶ Micro-area measurement unit
- Micro-focusing optics : included
- Sample observation camera : included
▶ Detector
- Scan mode : 2D & 1D, 0D or more
▶ Software for measurement & data processing : included
▶Chiller & AVR, control unit : included

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