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- 옥사이드 스퍼터
- i-Tube No. 2510-C-0053
- NTIS No NFEC-2025-11-309367
- 설치기관 성균관대학교산학협력단
- 주소 경기 수원시 장안구 천천동 성균관대학교자연과학캠퍼스 산학협력단
- 담당자 송장근 (T. 031-290-5561 )
- 매뉴얼
-
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장비정보
-
제작사
제이벡
-
모델 명
JVMS-P43H6LC
내용연수12년
-
구분
주장비
용도교육
-
표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터
장비활용범위공동활용서비스
-
취득일
2025-10-31
취득금액99,000,000원
-
인증정보
없음
-
기능
- DC Power : 1 set
- RF Power : 2 set
Vacuum level : Turbo-Molecular Pump (10^-10 hPa)
Substrate Heater : 550°C
Mass Flow controller : Ar 100sccm/N2 30sccm/O2 30sccm -
장비 상세설명
산화물 반도체 박막 증착을 위한 장비.
간단하고 편리한 조작으로 DC plasma 및 RC 제어가 가능하여 효율적으로 물질 증착이 가능하다.
Ar, O2, N2의 가스를 이용하여 여러 물질을 증착이 가능함.
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태이동형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료[EA] 60,000원
장비설명
산화물 반도체 박막 증착을 위한 장비.
간단하고 편리한 조작으로 DC plasma 및 RC 제어가 가능하여 효율적으로 물질 증착이 가능하다.
Ar, O2, N2의 가스를 이용하여 여러 물질을 증착이 가능함.
장비 구성 및 성능
-Target size: 4“
-Substrate size: 6“
-DC Power: 1set
-RF Power: 2set
Vacuum level: Turbo-Molecular Pump(10^-10 hPa)
Substrate Heater: 550℃
Mass Flow Controller: AR 100sccm/N2 30sccm/O2 30sccm
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
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