Bruker

없음

스타일러스를 이용하여 시료 표면의 두께, 스텝 높이, 거칠기(Ra 등)를 나노미터 수준의 정밀도로 측정하는 표면 형상 분석 장비.

1) 얇은/두꺼운 박막의 스텝 높이 측정
2) 표면 형상 및 프로필(2D) 측정
3) LVDT(Liner Variable Differential Transformer)를 이용한 고정밀 위치 감지
4) Stylus force 1 ~ 15 mg 범위 설정 가능 (부드러운/단단한 재료 모두 측정 가능)
5) 스캔 길이 최대 55 mm, 스캔 반복성 5 Å (<0.6 nm)
6) 평균 거칠기(Ra) 등 다양한 표면 조도 파라미터 분석
7) Vision64 소프트웨어로 데이터 수집, 분석, 필터링, 레벨링, 자동화 레시피 구성 가능
8) Live video 카메라/조명으로 측정 위치 시각적 확인
9) 자동 시료 로딩/언로딩 및 보호 기능(스타일러스 자동 상승)
10) EMO(긴급정지) 및 Power On/Off 버튼을 통한 안전 제어 시스템 내장