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장비정보

제작사
주식회사 이엘
모델 명
극한환경용 이송장치 성능/신뢰성 평가장비

내용연수
10년
구분
주장비

용도
시험
표준 분류
기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 압력장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-06-09

취득금액
465,030,000원
인증정보
없음
기능
진공 환경에 사용되는 초정밀 부품 및 이송 장치의 특성을 평가할 수 있도록, 진공 챔버 내부에 고진공 환경을 제공하고, 진공 환경에서의 아웃개싱을 모니터링 하는 기능을 제공함
장비 상세설명
장비는 진공 환경을 제공할 수 있는 2종의 챔버(대행정 이송장치용, 소형 이송 장치 및 부품류용)와 제진시스템으로 구성되어 있음
초고진공 수준까지의 진공 환경 구현이 가능하며, 내부 공간에 평가 대상과 위치 측정 시스템들을 설치할 수 있게 설계되어 있어, 각각의 챔버 내부에 이송장치, 구동기, 센서 등을 설치하여 테스트 할 수 있음
진공도 및 outgassing 을 실시간으로 모니터링할 수 있고, 제진대가 함께 구성되어 지반 진동을 효과적으로 제거 함으로써 초고정밀 장치의 평가가 가능한 환경을 제공함

장비의 주요 구성과 성능은 아래와 같음

1) UHV rectangle chamber & Frame
- Material : STS304
- Size(ID) : 1000*1000*600(h)
2) UHV circle chamber & Frame
- Material : STS304
- Size(ID) : Ø600*350(h)
- heating zone : 300*200 mm ; capton heater ( max 120’C )
3) Turbo pumping system (1900 L/S 급 & 88m^3 / h )
4) QMS system

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
일별

장비 사용료
[Hr] 40,000원

장비설명

장비는 진공 환경을 제공할 수 있는 2종의 챔버(대행정 이송장치용, 소형 이송 장치 및 부품류용)와 제진시스템으로 구성되어 있음
초고진공 수준까지의 진공 환경 구현이 가능하며, 내부 공간에 평가 대상과 위치 측정 시스템들을 설치할 수 있게 설계되어 있어, 각각의 챔버 내부에 이송장치, 구동기, 센서 등을 설치하여 테스트 할 수 있음
진공도 및 아웃개싱을 실시간으로 모니터링할 수 있고, 제진대가 함께 구성되어 지반 진동을 효과적으로 제거 함으로써 초고정밀 장치의 평가가 가능한 환경을 제공함

장비 구성 및 성능

1) UHV rectangle chamber & Frame
- Vacuum range : 1.0*10-7 torr / 30h
- Material : STS304
- Size(ID) : 1000*1000*600(h)
- Door : STS304 * 25(T) / 보강대
- Gate valve & by-pass valve & vent valve
- Frame & control rack
- Safety alarm & interlock

2) UHV circle chamber & Frame
- Vacuum range : 1.0*10-7 torr / 30h
- Material : STS304
- Size(ID) : Ø600*350(h)
- Door : STS304 * 25(T) / 실린더 리프팅
- Gate valve & by-pass valve & vent valve
- Frame & control rack
- Safety alarm & interlock
- Sample heating substrate
; heating zone : 300*200 mm
; capton heater ( max 120’C )

3) Turbo pumping system (1900 L/S 급 & 88m^3 / h )
- Turbo pump, Dry pump, Vacuum gauge
- 하이브리드(영구 자석 & 세라믹) 베어링 서스펜션
- 비접촉식 드라이펌프(오일 및 접촉에 의한 파우더 無 생성 )

4) QMS system
- 200amu

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