i-Tube

장비정보

제작사
코셈
모델 명
IP-10K

내용연수
11년
구분
주장비

용도
시험
표준 분류
기계가공/시험장비 > 성형/가공장비 > 표면가공기

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-09-30

취득금액
93,500,000원
인증정보
없음
기능
- Ion Gun Voltage : 2 ~ 8 kV
- Ion beam Milling Speed : 1000 ㎛/h
- Ion beam Milling rate(Flat milling) : 10 ㎛ 또는 동동 이상
- Maximum sample size : 15 mm(W)×10 mm(D)×5 mm(H)
- Specimen movement range : X-axis ±3.5 mm, Y-axis ±2 m
- Sample stage Swing angle : ±35°
- Flat milling stage tilt angle range : 10° to 85°
- Sample size for flat milling : Ø32 mm, 18(H) mm
장비 상세설명
이온빔 폴리셔(Ion Beam Polisher)
평면 절삭(flat-milling), 냉각 스테이지, 공기 보호 모듈(air-protection module)
향상된 성능과 다양한 응용 분야에 대한 높은 활용성
미세 수준의 재료를 정밀하게 절삭할 수 있음

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
건별

장비 사용료
[EA] 30,000원

장비설명

이온빔 폴리셔(Ion Beam Polisher)
평면 절삭(flat-milling), 냉각 스테이지, 공기 보호 모듈(air-protection module)
향상된 성능과 다양한 응용 분야에 대한 높은 활용성
미세 수준의 재료를 정밀하게 절삭할 수 있음

장비 구성 및 성능

- Ion accelerating voltage : 2 to 8 kV
- Milling speed : 1,000um/h (at 8 kV on Si wafer)
- Sample stage swing angle : ± 35°
- Maximum sample size
: 20(W) × 10(L) × 5.5(T)mm, 16(W) × 10(D) × 9.5(H)mm
- Specimen movement range
: X axis ± 3.5 mm, Y axis ± 2 mm
- Flat milling stage tilt angle range : 10° to 85°
- Sample size for flat milling : Ø32 × 18(H)mm
- Digital microscope for sample positioning
: Mag. X5, X10, X20, X40
- Chamber camera for monitoring : Mag. X5, X10, X20, X40
- Argon gas (99.999%)
- Cooling Stage

e-Tube 로그인

장비 매뉴얼