Renishaw

없음

정밀도가 요구되는 차세대 스마트팩토리에 적용될 수 있는 이송장치 및 구동기, 센서 등의 성능을 엄밀하게 평가하기 위해 온도/습도 등의 환경이 엄격하게 통제되는 챔버(별도 구축)내에서 이송 정밀도 성능/신뢰성을 정밀하게 계측하고 평가하는 6자유도 변위 측정 시스템을 구축. nm급 초정밀 측정에서 6자유도 측정의 경우 측정 각도에 따른 선형 변위의 Coupling으로 인한 측정 오차가 발생해서 이를 저감할 수 있도록 6자유도 측정을 위해 기존 6개의 센서를 사용하는 방식에서 추가 센서를 적용해 이러한 Coupling 영향을 최소화하는 측정 시스템을 도입해 국내 유관 기관/기업 들에대한 지원 수행하고자 함. 또한 레이저 인터페로미터 측정 시스템을 통해 변위 측정을 수행함으로써 레이저 파장 기반으로 정의되는 길이 표준에 소급되는 측정 서비스를 제공해 향후 관련 기업들이 제품화 시 교정 등의 서비스가 지원 가능하도록 인프라 구축.

스마트 팩토리 구성용 이송 모듈 신뢰성 평가 인프라 구축 사업에서 목표로 하고 있는 고정밀 이송용 부품(구동기, 센서)/모듈의 6자유도 위치 오차 정밀 측정 및 이를 통한 성능/신뢰성 평가 등에 필요한 장비임

주요 구성 및 성능은 아래와 같음

1) 측정 타입 : Differential 방식의 Interferometer
2) 분해능 : 0.1 nm 이하
3) 파장 안정성 : 1시간 기준 +/-3 ppb 이하 (300 mm 길이 측정 시 0.9 nm 이하 정확도 보장)
4) 측정 범위 : 1 m 이상
5) 최대 측정 속도 : 1 m/s 이상
6) 최대 측정 속도 : 1 m/s 이상
7) 측정 축수 : 8축 이상
8) Thermal drift : 50 nm/K 이하
9) 비선형 오차 (보정 후) : ±1 nm 이하
10) 사용자 편이성 (정성 평가) : 정렬 용이성 (1축 구성을 위한 광학 부품 수량) 및 환경 보상 기능 적용 편이성
11) 고속 신호 인터페이스 : Parallel interface 및 1Vp-p sine/cosine(or Serial interface) 제공