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장비정보

제작사
Perkin Elmer
모델 명
AVIO550

내용연수
10년
구분
주장비

용도
시험
표준 분류
화합물전처리/분석장비 > 분광분석장비 > 유도결합플라즈마원자방출분광기

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2026-02-20

취득금액
164,347,280원
인증정보
없음
기능
1) 액체 시료 내 원소의 정성 분석 및 동시 다원소 분석
2) 금속·중금속·미량원소의 농도 정량 분석
3) 원소별 고유 방출 스펙트럼을 이용한 고감도·고정밀 분석
장비 상세설명
1) 장비의 역할: 액체 시료에 포함된 금속, 중금속 및 미량원소를 정성·정량 분석하는 유도결합플라즈마 광방출분광기(ICP-OES)로, 원소별 고유 방출광을 이용하여 여러 원소를 동시에 측정함.
2) 동시 다원소 분석: 에셸 폴리크로메이터와 SCD 검출기를 적용하여 여러 원소의 파장 신호를 동시에 측정함. Syngistix 소프트웨어의 범용 데이터 수집 기능을 통해 분석 가능한 모든 파장의 데이터를 동시에 수집·저장함.
3) 플라즈마 발생 및 시료 도입: Flat Plate™ 플라즈마 기술과 수직형 플라즈마 토치를 적용하여 플라즈마를 형성하며, 고염·고매질 시료의 분석과 시료 전처리 부담 감소에 활용함.
4) 분광 간섭 제거: PlasmaShear™ 시스템을 통해 별도의 아르곤 가스를 사용하지 않고 플라즈마 꼬리부에서 발생하는 간섭을 제거하며, 해당 장치의 추가 유지보수가 필요하지 않음.
5) 고·저농도 동시 측정: Dual View 방식을 통해 플라즈마의 축방향과 방사방향을 모두 관찰함. 이를 통해 동일한 분석 조건에서 저농도 미량성분과 고농도 주성분을 함께 측정함.
6) 광학 및 정밀 측정 성능: 자유형상 및 축외 코팅 광학계를 적용하여 방출광의 전달과 파장 분리를 수행함. 제조사의 특정 배터리 소재 적용시험에서는 주성분 측정 정밀도 RSD 0.1% 미만을 기록함.
7) 상태 확인 및 품질관리: 컬러 PlasmaCam™으로 플라즈마 상태를 실시간 확인하고 원격 진단을 지원함. Syngistix 소프트웨어를 이용하여 시료 신호, 내부표준 성능 및 품질관리 결과를 실시간으로 확인함.

이용안내

사용형태
기관의뢰 직접사용

설치형태
고정형
사용료 형태
건별

장비 사용료
[EA] 30,000원

장비설명

1) 분석 범위: 시료 내 수 ppm 수준의 미량 불순물부터 수 % 수준의 주성분까지 정량하며, 비활성기체와 일부 할로젠 원소를 제외한 약 68종의 원소를 동시에 분석할 수 있음.
2) 반도체 소재 적용: 반도체용 금속·세라믹·고분자 소재, 도금액, 식각액, 세정액, 공정액 및 원료의 조성 확인과 금속 불순물 평가에 활용함. 소재 순도 확인, 공정액 농도 관리, 오염 및 불량 원인 분석에도 적용할 수 있음.
3) 시료 도입 방법: 액체 시료는 필요에 따라 희석한 후 측정하며, 고체·분말·겔 형태의 부품 및 소재는 산분해 등의 전처리를 통해 용액화하여 장비에 도입함.
4) 측정 원리: 시료 용액을 약 6,000 K의 유도결합플라즈마에 도입하여 탈용매·원자화·여기시킨 후, 여기된 원자가 바닥상태로 돌아가면서 방출하는 빛을 측정함. 원소별 고유 파장으로 성분을 확인하고 방출광 세기로 함량을 정량함.
5) 장비 특성: Avio 550 Max는 여러 원소와 분석 파장의 신호를 동시에 수집하며, Dual View 방식으로 고농도 주성분과 저농도 불순물을 함께 측정함. 수직형 플라즈마 토치와 PlasmaShear™ 시스템을 적용하여 염류와 산을 포함한 반도체 소재 분해액 및 공정액의 분석에 활용할 수 있음

장비 구성 및 성능

1. ICP-OES main system
1) RF Frequency : 40 MHz or 27 MHz 40 MHz
2) RF Power : From 1000 to 1500 Watts 1000 ~ 1500
3) Torch : 2.0-mm i.d. alumina or quartz injector 2.0-mm i.d. alumina
4) Torch Configuration : Vertical
5) Scott Spray Chamber: Glass cyclonic or Ryton HF resistant
6) Nebulizers: Teflon mira mist nebulizer or glass concentric nebulizer
7) Optical System: Echell
8) Spectral range: 163 nm ~ 782 nm
9) Detector system: SCD
2. Autosampler: Free-standing computer-controlled autosampler
3. System Controller
1) Hardware
- CPU: Intel Core i5-8500
- RAM: 32 GB
- HDD: 1000 GB
-24 inch Monitor
2) Software: Syngistix(TM)
4. Accessories
1) Sample Rack 60 Locations for 15 mL and Sample Rack 21 Locations for 50 mL: 3 ea
2) 0.5 mm ID corrosion resistant carbon fiber probe: 3 ea
3) Teflon Mira Mist Nebulizer 0.2 to 2.5 mL
4) Alumina Injector 2.0mm ID
5) Flap plate Torch: 1 ea
6) Cyclonic/concentric kit: 1 set

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