1. 비접촉 면저항 측정
: 시료 표면에 탐침을 접촉하지 않고 면저항을 측정하는 기능을 갖음.
일반적인 4 point probe 방식은 금속 탐침이 시료에 닿아야 하므로 표면 손상, 오염, 접촉저항 오차가 발생할 수 있음.
반면 이 장비는 비접촉 방식이므로 접촉저항에 의한 오차를 줄이고 민감한 박막도 손상없이 측정 가능.
2. 대면적 면저항 매핑
: 시료의 한 점만 측정하는 것이 아닌 전체 면을 여러 지점으로 나누어 측정
시료의 균질성과 부분적으로 면저항이 높고 낮음을 확인할 수 있음
예를 들어 ITO 코팅 유리의 중앙부는 15 Ω/sq인데 가장자리 부분은 25 Ω/sq로 나타난다면, 코팅 균일성이 좋지 않다는 결과를 바로 확인 가능.
3. 고해상도 측정
측정 조건에 따라 빠른 측정 또는 고해상도 측정 선택 가능.
빠른 조건에서는 1분 미만의 측정이 가능, 고해상도 조건에서는 최대 90,000개 측정점까지 설정 가능.
4 결함 및 불균일성 검출
측정 결과는 컬러 맵으로 표시, 육안으로 보기 어려운 박막의 두께 불균일, 코팅 누락, 크랙, 전극 단선, 국부 저항 증가 등 확인 가능.
5 금속층 두께 및 관련 물성 평가
면저항은 박막 두께와 관련이 있기 때문에 재료의 고유저항을 알고 있으면 면저항으로부터 금속층 두께 추정 가능.