Agilent Technologies

없음

- 다양한 어플리케이션 셋업 가능: 헬륨 분사, 높은 감도, PPM 스니퍼링, 자동 시퀀스, 교정/보정, 스플릿 플로우

- 질량 분석기 기반 안정적인 헬륨 누설률 측정

- 무선 통신 가능

- 보조 펌프와 함께 대형 공정 장비 기밀 특성도 가능

- 내부 질량분석기와 고진공펌프 보호를 위한 전원 오프 자동 프로세스 기능

- 질소 벤트 기능 장착

- RS 232 통신 가능

- 진공 부품·장비의 누설 위치 및 누설률 측정

- 패키징 진공 소재의 bombing test를 통한 기밀 특성 측정

- 반도체·디스플레이 공정 장비의 누설 확인

- 본 분석 저울과 함께 가압 및 감압 환경 진공시스템(챔버, 게이지, 벨로즈, 컨트롤러 등), 표준리크와 함께 패키징 소재·부품과 진공 부품·장비의 기밀 특성 시험서비스에 활용할 예정임