Thermo Fisher Scientific

없음

1. 전자 분석기 및 렌즈 시스템
1.1 종류: 구면 섹터 분석기 또는 동등 성능 장비
1.2 평균 직경: 250mm 이상
1.3 동작 모드: CAE 또는 동등 방식
1.4 최소 에너지 스텝 크기: 3 meV 이하
1.5 최대 에너지 해상도 (Ag 3d5/2 피크 기준): < 0.5 eV (FWHM)
1.6 최대 공간 해상도: < 10 μm 이하
1.7 절연체용 XPS: C 1s 에너지 해상도 < 0.85 eV
1.8 패스 에너지: 1 – 400 eV 연속 선택 가능
1.9 분석기 하우징: 뮤메탈 차폐 또는 동등 성능
1.10 검출기: 128채널 검출기
1.11 감도 (1eV FWHM, Ag 3d5, 400 μm, 120W): 6,500,000 cps 이상
1.12 감도 (1eV FWHM, Ag 3d5, 10 μm): 75,000 cps 이상
2. 마이크로 초점 단색 X선 광원
2.1 애노드 재질: 알루미늄 애노드
2.2 종류: 마이크로 초점 단색기 또는 동등 성능 장비
2.3 결정 정렬: 컴퓨터 제어 방식
2.4 안전 인터락: 고전압, 냉각수, 진공압력 및 기계적 인터락 포함
2.5 X선 광원 모든 파라미터는 데이터 시스템에서 제어 가능
2.6 롤랜드 원(Roland circle): 250mm 이상
2.7 최대 작동 전력: 120W 이1하
3. 초고진공(UHV) 분석 챔버
3.1 재질: UHV 적합 챔버
3.2 궁극 진공도: 5×10⁻⁹ mbar 이하
3.3 펌핑 시스템:
-티타늄 승화 펌프
-터보 분자 펌프: 260 L/s 이상
4. 단원자 및 클러스터 이온 소스
4.1 에너지 범위:
-단원자 모드: 0.5 keV ~ 4 keV 또는 그 이상
-클러스터 모드: 2 keV ~ 8 keV 또는 5 keV ~ 20 keV

-시료표면에 X-선을 입사하여 방출하는 광전자(photoelectron)에너지를 측정하여, 시료표면의 조성 및 화학적인 결합상태를 알 수 있는 고성능 분광장치
-MAGCIS (single source for monatomic & gas cluster ion source) 기술을 통하여 무기물, 유기물 및 첨단 복합재료분석 가능