○ 반도체 환경내구성 동작평가 시험기 주요사양
1. 성능 (Performance)
- 온도 범위 : -40 ℃ ~ +150 ℃
- 온도 편차 : ±0.3 ℃
- 온도 구배(Gradient) : 3.0℃
- 공간 내 온도 편차 : 1.5 ℃
- 온도 분해능 : 0.1 ℃
- 온도 변화율 : -26 ℃ ~ +86 ℃
· Heating : 3.0 ℃/분
· Pull down : 2.0 ℃
- 극한 온도 도달 시간
· Heating : +20 ℃ → +100 ℃, 30분
· Pull down : +20 ℃ → –40 ℃, 45분
- 허용 열부하 : 2,850 W (@ +20℃)
- 습도 범위 : 20 % ~ 98 %R.H.
- 습도 변동도 : ±2.5 %R.H.
- 습도 구배(Gradient) : 10 % R.H.
- 공간 내 습도 편차 : 5 % R.H.
- 습도 분해능 : 1 % R.H.
- 허용 열부하 : 100 W (@ +85 ℃ / 85 % R.H.)
- 평균 풍속 : 1.62 m/s
- 조내 순환 풍량 : 77.6 m³/min(풍향 단면적 × 조내 평균 풍속)

2. 전원 모니터링 (Monitoring Power Supply)
- 전압 범위 : -20 V ~ +20 V
- 전류 : 20 A
- 전원 채널 수 : 12 ch
- 모니터링 주기 : 실제값 기준 1분 ~ 1시간
- 전원 On/Off 사이클 : 1초 ~ 1시간
- 최대 전원 제어 존 수 : 12 Zone
- 리플 및 노이즈 : ±100 ㎷
- 전압 정확도 : ±0.05 V
- 보호 기능 : OCP, OVP 제어
- 전원 시퀀스 제어 : 1 ~ 12 단계

3. 크기 및 전원 사양
- 내부 치수 (W × H × D)
: 1000 × 1000 × 800 ㎜
- 외부 치수 (W × H × D)
: 1410 × 1840 × 1273 ㎜
- 중량 : 610 ㎏
- 전원 사양 : AC 380 V, 3상, 60 ㎐, 22 A (최대)