○ 반도체 온도사이클 전압인가 시험기
1. 성능 (Performance)
- 온도 범위 : −70 ℃ ~ +180 ℃
- 온도 편차 : ±0.5 ℃
- 온도 분해능 : 0.1 ℃
- 허용 열부하 : 8 ㎾ (@ −20 ℃)

2. 전원 모니터링 (Monitoring Power Supply)
- 전압 범위 : −20 V ~ +20 V
- 전류 : 20 A
- 전원 채널 수 : 12 ch
- 모니터링 주기 : 실제값 기준 1분 ~ 1시간
- 전원 On/Off 사이클 : 1초 ~ 1시간
- 최대 전원 제어 존 수 : 12 Zone
- 리플 및 노이즈 : ±100 ㎷
- 전압 정확도 : ±0.05 V
- 보호 기능 : OCP, OVP 제어
- 전원 시퀀스 제어 : 1 ~ 12 단계

3. 크기 및 전원 사양
- 챔버 용적(Capacity) : 160 ℓ
- 챔버 총 적재 하중 : 50 ㎏
- 내부 치수 (W × H × D)
: 800 × 500 × 400 ㎜
- 외부 치수 (W × H × D)
: 1000 × 1808 × 1915 ㎜
- 중량 : 1000 ㎏
- 전원 사양 : AC 380 V, 3상, 60 ㎐, 61 A (최대)