ThermoFisher Scientific

AEC-Q100-005,JEDEC Standards JS-002

○ 반도체 정전기 CMD 평가 시험기는 전장부품 및 시스템반도체 등 소재, 부품 분야에서 반도체 소자가 Field에 장착 되거나 공정 투입 시 소자로부터 발생할 수 있는 정전기 불량 검증을 메커니즘으로 진행하는 시험으로 Package나 모듈 소자에 전하를 충전시킨 후 방전시키는 방법으로 정전기로 발생하는 전기적 내성을 평가하는 장비이다.

○ 반도체에 CDM(Charged Device Model)를 모사하여 평가하는 시험장비로 JEDEC, JS-002등 국제 반도체 시험 규격에 대응하여 정전기 내성을 시험 평가하는 장비임. 전장용, 산업용 인버터등의 반도체 부품에 대한 CDM 평가 수행
▷ CDM Test
- 전자 장치의 정전기 방전(ESD) 내성을 평가하기 위한 모델 중 하나로 CDM은 특히 반도체 장치가 충전된 상태에서 발생할 수 있는 방전현상을 3가지 사항으로 시뮬레이션 평가 진행
· 충전 상태 : CDM은 전자 장치가 충전된 상태에서 발생하는 방전을 다룸. 이는 장치가 고립된 상태에서 정전기로 인해 발생하는 방전현상을 모사
· 접촉 방전 : CDM 시험에서는 장치의 핀이나 외부 접촉부가 ESD 발생기와 접촉하여 방전이 발생
· 고전압 : 방전 전압은 일반적으로 500V에서 2000V 이상으로 설정됨
- 시료를 테스트 스테이션에 자재를 대드버그 상태로 올려놓고 ESD 발생기를 통해 전압을 충전하여 접촉시켜 방전 후 소자 기능 검사를 통해 전기적·물리적 손상을 평가