ThermoFisher Scientific

AEC-Q100,AEC-Q200,JEDEC Standards

○ 반도체 정전기 평가 시험기는 반도체소자 손상의 주요 불량 원인으로 정전기에 의한 소자 Burning을 테스트할 수 있는 장비로서, 특히 실제 환경에서 흔히 발생하는 정전기 현상을 구현하고 단계별 정전기를 통해 고장을 예측하며, ESD 보호 소자의 개발과 유효성을 검증하는 정전기로 발생하는 전기적 내성을 평가하는 장비이다.

○ 사용 환경에서 발생 할 수 있는 HBM (Human Body Model), MM(Machine Model), Latch up등의 평가를 JEDEC 및 AEC-Q 등 규격에 맞추어 수행하는 장비로써, 반도체 소자에 대한 전기적 내성 평가를 수행을 통해 정전기 내성 시험을 수행함
▷ Latch-up TEST
- 반도체 소자의 p-n-p-n 구조에서 형성된 기생(parasitic) Thyristor 영향으로 전기적 동작 전류가 도통되고 증폭되어 소자를 파괴하는 현상을 모델링한 시험 방법이며 이러한 현상을 설계나 검증을 통하여 개선 방향성을 확보함
▷ HBM ESD TEST
- HBM(Human Body Model)은 인체에서 발생하는 마찰 및 접촉으로 축적된 전하가 전위차가 낮은 물체에 접촉할 때 발생하는 정전기 방전현상을 모델링하여 반도체 불량 유무를 확인하는 시험
▷ MM ESD TEST
- MM(Machine Model)은 제조공정에 장비, 기계 등 금속 물체에 축적된 전하(충전된 상태)가 전위차가 낮은 도체와 접촉할 때 발생하는 정전기 방전현상을 모델링하여 반도체 불량 유무를 확인하는 시험