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장비정보

제작사
Thermo Fisher Scientific
모델 명
Talos F200i

내용연수
9년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 투과전자현미경

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2026-01-16

취득금액
2,311,665,280원
인증정보
없음
기능
O TEM imaging
O HR-TEM
O STEM imaging
O HAADF, DF, BF detector imaging
O Dual-EDS
장비 상세설명
O 나노·원자 수준에서 시편의 미세구조, 결정성, 결함 및 계면 특성을 정밀 분석
O 200kV 가속 전압에서 TEM 0.10nm, STEM 0.16nm 급의 고분해능 구현
O X-FEG 장착으로 높은 Brightness 제공
O 16 mega pixel digital 카메라를 통해 넓은 시야각과 빠른 프레임 속도로 고품질 이미지 신속하게 획득
O EDS 분석을 통해 미세영역 조성 분석 및 맵핑 가능

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 220,000원

장비설명

O 나노·원자 수준에서 시편의 미세구조, 결정성, 결함 및 계면 특성을 정밀 분석
O 200kV 가속 전압에서 TEM 0.10nm, STEM 0.16nm 급의 고분해능 구현
O X-FEG 장착으로 높은 Brightness 제공
O 16 mega pixel digital 카메라를 통해 넓은 시야각과 빠른 프레임 속도로 고품질 이미지 신속하게 획득
O EDS 분석을 통해 미세영역 조성 분석 및 맵핑 가능

장비 구성 및 성능

1. 투과전자현미경 사양
1) 해상도
- 투과전자현미경 빔 해상도 0.12nm
- 투과전자현미경 선 해상도 0.10nm
- 주사주과전자현미경 해상도 0.16nm
2) 전자 소스
- Gun type ZrO/W(100) Schottky emitter
3) 가속 전압
- 범위 20 ~ 200kV
4) 시료 구동 스테이지
- X/Y 기울임: ±30˚ / ±30˚
5) 배율
- 투과전자현미경 배율 60x ~ 1,000,000x
6) 빔 크기
- 투과전자현미경 모드: 1 ~ 20nm dia.
7) 수렴성 빔 전자회절
- 수렴성 빔 전자회절 각도: 1.5 ~ 80 mrad
8) 카메라 길이
- 선택 영역 회절 모드: 25 ~ 2,000mm
9) 에너지 분산형 분광 출사각: 17.6˚
2. 에너지 분산형 분광 검출기
1) 에너지 분산형 분광 시스템
- 최대 입체각도 1.65sr
- 분해능: Fe Ka 64eV @130,000cps
- 100mm² X2 SDD
- 응용프로그램
2) 주사투과전자현미경 검출기
- 명시야 영상 관찰 장치
- 명시야 조리개
- 암시 영상 검출기
3) 시료 홀더
- 강화형 시료 틸팅 홀더
- 강화된 D형 틸팅 시료 홀더
4) 투과전자현미경 CMOS 이미지 센서
- 센서: 4,096 x 4,096 CMOS 이미지 센서
- 분석 소프트 웨어

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