○ 측정 범위 : 0.00005 mg to 50 mg (O), 0.00005 mg to 30 mg (N),
0.0001 mg to 2.5 mg (H)
○ 정확도: O/N ~ less than 0.3% RSD, H ~ less than 2% RSD
○ 측정 방법: 비파괴 적외선 흡수 분광, 열전도 측정
○ Gas flow rates: 490 cm3/min Argon gas
○ 퍼니스: 임펄스 퍼니스, 최대 7.5 kW, 수냉식
○ 분석 시간: 95초(O), 130초(N), 100초(H)