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장비정보

제작사
Carl Zeiss
모델 명
GeminiSEM 560

내용연수
11년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2026-07-20

취득금액
1,386,000,000원
인증정보
없음
기능
- FE-SEM은 빛을 사용하는 광학 현미경과는 다르게 전자빔이 시료에 충돌했을 때 발생하는 신호를 검출하여 이미지를 형성함
- SE 검출기는 SEM의 전자빔이 시료 원자의 외곽 전자들과 충돌하여 2차 전자를 방출함
- 표면 형상 분석에 최적화한 검출기로 미세한 표면 구조 및 거칠기 분석 가능함
- 시료 표면에서 방출되는 특성 X선을 분석하여 원소 조성을 정량적으로 측정함
장비 상세설명
전계방사형 주사전자현미경은 전자가 전기장에 의해 가속되어 시료 표면에 주사된 후 전자와 시료의 상호작용을 통해 방출된 신호(이차전자, 후방산란전자, X선)를 검출하는 것으로 전류신호를 이미지로 변환함으로써 시료에 대한 표면정보(미세한 표면 구조 및 거칠기), 재료 원소 조성차이 및 입자크기, 분포 평가, 원소 정량, 정성분석 정보를 알 수 있습니다.
EDS 검출기도 함께 장착되어 있어 미세구조의 화학적 조성(원소 조성), 원소 함량(정량분석) 및 원소 분포(정성 분석)를 분석할 수 있습니다.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
건별

장비 사용료
[EA] 40,000원

장비설명

FE-SEM은 일반 현미경에 비해 분해능이 높아 최대 30만 배까지 고배율로 시료 관찰이 가능합니다. 열 방출을 통해 전자를 생성하는 SEM과는 달리 FE-SEM은 필드 방출 원리를 이용하여 전자를 생성하기 때문에 더 높은 전류 밀도를 제공할 수 있어 일반 SEM보다 향상된 해상력 및 감도를 얻을 수 있습니다.
저전압 및 저진공에서 시료를 측정하는 기술을 통해 4nm/pixel의 높은 해상도를 얻을 수 있고, 시료의 표면구조를 더욱 명확히 측정할 수 있습니다.

장비 구성 및 성능

1. 전계방사형 주사전자현미경 1set
1)전자옵틱
(1)전자소스:쇼트키전계방사형(Schottky fieldemitter)
(2)대물렌즈: Electrostatic, Electromagnetic혼합형,시료에는Bias가걸리지않아야한다.
(3)가속전압: 0.02kV–30kV, 10V단위조절혹은이상
(4)프로브전류및안정성: 3pA이하–20nA이상, 0.2%/시간이하
(5)분해능, bias가걸리지않는조건
①0.5nm@15kV동등혹은이하
②0.8nm@1kV동등혹은이하
③1.0nm@500V동등혹은이하
④0.7nm@1kV동등혹은이하
(6)최대관측시야
①1.6mm@1kV,WD=7mm동등혹은이상
②5.6mm@15kV,WD=8.5mm동등혹은이상
③130mm@최대WD동등혹은이상
①작동거리0.1mm–50mm동등혹은이상
②자동초점조절: Coarse, fine초점조절
③자동초점보상:전체전압조건에서자동초점보상및
기울어진상태의초점보정
④자동떨림현상보정
(8)최대저장분해능:３2Kx24K동등혹은이상
2)챔버및스테이지
(1)챔버크기:지름360mm,높이270mm동등혹은이상
(2)사용가능포트: 12개동등혹은이상
(3)챔버압력:고진공: 2.0x10-4Pa동등혹은이하
(4)스테이지
①5축motorized encentric타입스테이지로조이스틱컨트롤이가능해야함
②구동거리: XY=130mm, Z=50mm, T=-4°-70°, R=360°연속동작동등혹은이상
③시료최대무게: 0.5kg이상
(5)장비와일체형의챔버관찰용및시료관찰용: CCD카메라
(6)네비게이션카메라:시료의사진을통해위치를추적하는기능동등혹은이상
(7)시료교환챔버:빠른시료교환을위한80mm게이트벨브가포함된별도의챔버동등혹은이상
(7)초점기능
2)챔버및스테이지, 1개
3)검출기, 1개
4)진공시스템
5)PC및컨트롤러, 1개
2.에너지분산형분광기, 1세트
1)EDS(EnergyDispersivex-raySpectrometer)검출기, 1개
2)PC시스템, 1세트
3.시료전처리시스템
1)고속정밀절단기 1세트
2)표적표면처리시스템 1세트
2. EDS검출기 1세트

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