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장비정보

제작사
대동하이텍
모델 명
Bridge

내용연수
12년
구분
주장비

용도
교육
표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-01-23

취득금액
437,000,000원
인증정보
없음
기능
본 시스템은 금속 및 유기화합물을 고진공에서 증착하여 양질의 OLED, 텍스타일 기반 유연 유기 소자등 다양한 응용분야에 대한 소자를 제작하기 위한 설비임.
장비 상세설명
본 시스템은 금속 및 유기화합물을 고진공에서 증착하여 양질의 OLED, 텍스타일 기반 유연 유기 소자등 다양한 응용분야에 대한 소자를 제작하기 위한 설비임.
소자 제작에 필요한 다양한 물질을 글러브박스와 일체형 으로 구성되어 Metal 및 Organic Material을 상호 Contamination 없이 적층하여 금속 및 유기소자의 전극, 절연층, 유기 반도체 액티브 레이어, 합성된 나노입자 및 무기물 레이어등 고진공 및 수분 및 산소가 제어된 환 경 내에서 증착할 수 있는 장비임.
또한 글로브박스와 일체형으로 구성되어 고진공 과 수분 및 산소가 0.5 ppm이하로 제어된 환경내에서 전처리 과정 및 증착 과정, 후처리 과정을 동시에 진행함으로써 고효율 소자 제작 및 다양한 공정 개발이 가능함.

이용안내

사용형태

설치형태
사용료 형태

장비 사용료
원

장비설명

소자 제작에 필요한 다양한 물질을 글러브박스와 일체형 으로 구성되어 Metal 및 Organic Material을 상호 Contamination 없이 적층하여 금속 및 유기소자의 전극, 절연층, 유기 반도체 액티브 레이어, 합성된 나노입자 및 무기물 레이어등 고진공 및 수분 및 산소가 제어된 환 경 내에서 증착할 수 있는 장비임.
또한 글로브박스와 일체형으로 구성되어 고진공 과 수분 및 산소가 0.5 ppm이하로 제어된 환경내에서 전처리 과정 및 증착 과정, 후처리 과정을 동시에 진행함으로써 고효율 소자 제작 및 다양한 공정 개발이 가능함.

장비 구성 및 성능

1. Organic source 8개 이상
2. Metal Source 2개 이상
3. 유기물 공증착 3개의 Source 이상
4. 금속 공증착 2개의 Source 이상
5. 6인치 웨이퍼 샘플 장착 가능 크기
6. Glove box system

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