i-Tube

장비정보

제작사
Keysight Technologies
모델 명
B1500A

내용연수
10년
구분
주장비

용도
계측
표준 분류
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 광/LED/반도체/디스플레이측정시험장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-09-12

취득금액
130,794,200원
인증정보
없음
기능
반도체의 동작 전압측정, 동작 전류측정, 누설 전류측정, 브레이크다운 전압측정, 전도도 및 저항측정, 디바이스 수명예측, Hot Carrier Test 등 다양한 파라미터를 측정
장비 상세설명
반도체의 Wafer 상태 및 Device 상태에서의 전기적 물성을 측정하는 고정밀급 반도체용 계측장비

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
기타

장비 사용료
[Hr] 1원

장비설명

- 반도체 웨이퍼 및 칩 상태의 전기적 특성(전압, 전류 등)을 측정하기 위해 활용할 수 있으며, 최소 0.1fA, 0.5uV의 resolution을 가짐
- WGFMU(Waveform Generation / Fast Measurement Unit), CMU(Capacitance Measurement Unit)등을 이용하여 NBTI/PBTI, RTN (Random Telegraph Signal Noise)등 신뢰성과 노이즈 분석에 활용이 가능

장비 구성 및 성능

1. Number of module slot : 10EA
2. 15-Inch touch screen supports all capabillties of the intuitive GUI for convenient
device characterization
3. GPIB, USBLAN interfaces, and VGA video output port
4. Ground unit(GNDU) specification
5. Maximum sink current : ±4.2A
6. Output voltage : 0V ±100uV
7. Suppot SMU : Capacitance Measurement Unit, Waveform generator/fast measurement unit 1EA, Remote Sense Unit 2EA

e-Tube 로그인

장비 매뉴얼