(주)다다코리아

없음

가. 기판을 로딩하는 로드락 챔버
나. 기판 무빙 시스템 및 mechanical 웨이퍼 척
다. 히팅 및 쿨링 온도 조절 장치
라. 고주파 전원 발생장치(RF Generator)
마. 가스유량 조절 장치(MFC, mass flow controller)
바. 가스 샤워 헤드(gas shower head)
사. RIE(Reactive Ion Etching) 방식의 이방성 식각
아. 온도 센서 장착 및 진공 기밀을 유지할 수 있는 피드스루 시스템

가. 프로세스 챔버
- 소 재 : Al6061
- 사이즈 : 미정

나. 로드락 챔버
- 소 재 : STS304
- 사이즈 : 600 x 400 x 300 mm

다. 웨이퍼 고정 mechanical chuck
- substrate : 4“ susceptor graphite

라. 진공 펌프
1) Dry Pump
- Pumping speed : 2,000 l/min
- Ultimate vacuum : 1.5 x 10-2 Torr(No purge)
2) Rotary Pump
- Pumping speed : 400 l/min
- Ultimate vacuum : 5 x 10-2 Torr

마. 고출력 파워 공급장치
- 600W RF generator & matcher

바. 진공 측정 게이지
- Baratron gauge
- Pirani guage

사. MFC 및 Readout
- Gas : N2, Ar, O2, CF4
- 유량 : 최대 100 sccm
- Readout channel : #6

아. K type TC & Feedtrough
- Wide range Temperature : -160℃ ~ 1200℃
- Comon use Plug

자. System & Control Rack
- PLC control
- HMI Program