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장비정보

제작사
파이퍼베큠코리아유한회사
모델 명
Hilobe 6204

내용연수
5년
구분
부대장비(부가장치) (주장비:롤투롤 기상반응 코팅장비)

용도
시험
표준 분류
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 펌프

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-12-09

취득금액
40,450,000원
인증정보
없음
기능
진공 공정 시, 드라이펌프의 배기라인에 설치되어 진공 형성시간을 단축시키기 위한 추가 펌프로서 회전축의 양 끝단만 오일에 의해 윤활 되고 실제 진공을 형성하는 부품은 오일이 없는 드라이 타입의 펌프
장비 상세설명
ㅇ 진공 챔버의 진공 형성 시간을 단축 시키고 공정 압력을 더 낮추기 위한 추가 펌프
ㅇ 부스터 펌프 대표 사양
- Pumping Speed : 6220 m³/h
- Soundpressure level (EN ISO 2151) at 1 hPa : 65 dB (A)
- OperatingFluidFilling : 3.2 L
- Weight : 280 kg
- Dimensions(L x W x H) : 1,122 x 430 x 354mm
- Power : 7.5kW
- Cooling : Air (공냉식)

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
일별

장비 사용료
[EA] 4,000,000원

장비설명

주장비인 롤투롤 CVD 코팅 시스템(itube 등록번호: 1406-C-0082)은 롤 상태의 필름 웹이 고진공 플라즈마 환경하에서 화학기상 반응을 통하여 연속적으로 균일하게 소재를 코팅할 수 있는 장비로 플렉서브 디스플레이와 같은 유연 전자 소재 연구개발 지원에 주로 활용되는 장비임. 고성능 부스터 펌프는 주장비 로타리 펌프와 연동하여 운용함으로서 전반적인 진공 시스템의 부하를 낮춰주며, 고진공 환경 진입 속도를 단축하여 공정 및 기업지원 속도를 높여줄 수 있음.

장비 구성 및 성능

ㅇ 장비의 구성
펌핌을 위한 회전체가 포함된 실린더와 그 위 아래에 위치한 인/아웃렛 프랜지 및 회전체의 회전을 위한 모터로 구성된 펌프 본체와 전기 제어반으로 구성됨
ㅇ 장비의 성능
- 펌핑 속도 : 890 ~ 6220 m³/h (기동 시 펌핑 속도 제어 기능)
- Soundpressure(소음) 레벨 (EN ISO 2151) at 1 hPa : 65 dB (A)
- 윤활류 충진량 : 3.2 L
- 무게 : 280 kg
- 크기(L x W x H) : 1,122 x 430 x 354mm
- 전력량 : 7.5kW
- 냉각방식 : 공냉식 (온도 센서를 통한 냉각성능 제어)
- 모터 방식 : 3상 전기 모터
- 안전 사양 : 외곽 풀 커버를 통한 안전 사고 방지
모터 및 가스 온도 센서를 통한 긴급 정지 기능 (자동제어))

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