코셈

없음

표면 구조관찰, 3차원 정보제공, 시료분석, 표면 미세구조 확인
시료에서 방출된 X선을 분석하여 원소분석

장비의 구성 : Tabletop SEM1대, EDS Detector1대, Ion sputter coater1대
1. 주사전자현미경(Tabletop SEM)
- 제원 : 45cm(가로)*65cm(세로)*65cm(깊이)
- 작업공간 : 가로 2m, 세로 0.8m, 무게 85kg
- 활용소프트웨어 : Nano station SEM S/W
· 터보펌프를 이용하여 최대 10-6 torr의 진공도
· 고휘도 디텍터를 이용하여 고휘도 이미지 산출
· EDS를 통해 시료의 성분분석
· 한 개의 화면에 SE/BSE 두 개의 이미지가 동시에 디스플레이
· 배율 : x20 to x150,000배 이상
· 전자총 : 텅스텐필라멘트 전자총
· 어퍼쳐 : Variable Aperture(30, 50, 100, 200 μm)
· 디텍터
· 2차전자 디텍터(Secondary Electron Detector)
· 후방산란전자 디텍터(Back scattered Electron Detector)
· 에너지분산분광기 디텍터(Energy dispersive X-ray Detector)

2. 에너지 분산 분광 디텍터(EDS) - sem내부 장착
· Type : SDD type
· 분해능 : 131 eV resolution at 5.89 keV Mn, 80 eV fluorine 이상
· 검출 에너지 영역 : 110 eV to 25 keV 이상
· 검출 시료 영역 : Boron(5)에서 Americium(95)까지 혹은 그 이상
· 점 분석. 면적분석의 기능이 제공
· Multi Point 분석 기능을 제공하여 한 화면의 다양한 성분 분석이 가능
· CPS(Count per sec)값은 최대 1,000,000값 이상을 제공

3. Ion sputter coater
-380(W) X 240(D) X 230(H) mm
· 제원 : 챔버사이즈 : ∅100mm
· 타겟사이즈 : ∅50m 이상
· 스테이지 : 50mm이상 3-5
· 3-5 코팅 시간 : 1 ~ 60 sec