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장비정보

제작사
Kla-tencor
모델 명
Alpha-Step D-600

내용연수
10년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리 분류되지 않는 광파발생/측정장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-12-24

취득금액
83,226,000원
인증정보
없음
기능
본 장비 표면단차측정기는 소자 및 전극에 팁을 접촉시켜 스캔함으로서, 박막의 표면 형상 및 조도와 단차를 통한 두께를 분석하고 이미지화 할 수 있음
장비 상세설명
본 장비는 접촉식 단차 측정을 하고 2D, 3D 이미지화를 통해 시인성을 증대시켰으며, 다중 포인트 분석 결과를 누적시켜 대면적 시편에도 표면 거칠기를 측정 할 수 있음. 마이크론의 단차 뿐 아니라 나노 단위의 단차도 평가 할 수 있는 0.38Å의 해상도를 가짐

이용안내

사용형태
직접사용

설치형태
고정형
사용료 형태
기타

장비 사용료
[Hr] 1원

장비설명

불과 수 나노미터부터 1200μm까지의 2D 스텝 높이를 측정할 수 있음. 또한 R&D 및 생산 환경을 위한 조도, bow 및 stress의 2D 및 3D 측정 지원. 향상된 영상 제어 갖춘 첨단 광학과 200mm 샘플 척을 탑재한 모터로 가동됨

장비 구성 및 성능

1. 2D/3D 표면 정밀 topography 측정
2. Optical lever sensor head with laser
3. 부드러운 소재 측정을 위한 low force 컨트롤
4. 5MP color camera 4배율 디지털 줌(FOV: 3760 x 3120 um)
5. 탐침, 5 um radius, 60도 angle
6. 직경 200 mm 원형 vacuum 시료 chuck
7. 150 x 178mm 이동 X-Y 자동 stage
8. Windows 10 이상 버전 시스템 구동 프로그램
9. PC(≥4.4 GHz processor with software) & 19 인치 이상 모니터
10. 제진대(Anti-vibration table)
11. 표면 조도(roughness) 및 굴곡평가(waviness) 측정 기능
12. Bow 및 곡률반경(radius of curvature) 측정 기능
13. 박막 응력(film stress) 측정 기능

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장비 매뉴얼