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장비정보

제작사
SEC
모델 명
SNE-ALPHA

내용연수
10년
구분
주장비

용도
시험
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-12-17

취득금액
91,850,000원
인증정보
없음
기능
본 장비 전계방사형 주사전자현미경(SEM)은 소재 및 전극에 전자빔을 조사하여 형상 및 구조분석을 수행할 수 있으며, 추가된 EDS를 통해 화학적 조성 및 원소 분석이 가능함
장비 상세설명
Tabletop 타입의 주사전자현미경으로써 최대배율 25만대 구현 가능. Top-View CCD 카메라 장착으로 컴퓨터와 연결하여 샘플 원본 이미지 캡처 가능. EDS system은 빠르고 정확한 정성, 정량 분석 결과를 제공하며 점, 면, 원하는 영역 등을 지정하는 다양한 방법으로 보고자 하는 시료 분석

이용안내

사용형태
직접사용

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 1원

장비설명

전자총, 음극, 전자기렌즈, 검출기로 구성되어 전자총에서 전자빔을 주사하여 검출기를 통해 SE 신호를 검출하여 시료의 형상 및 구조를 분석할 수 있음. EDS는 반도체 소자의 증착 물질에 따른 원소를 맵핑을 통해 이미지화 할 수 있음

장비 구성 및 성능

- 해상도: 5nm (30kV, SE 이미지)
- 배율: 30배 ~ 25만 배
- 가속 전압: 1 ~ 30kV (1/5/10/15/20/30 - 6단계)
- 감지기: 2차전자영상 (SEI)
- 전자총: 텅스텐 필라멘트, 카트리지 교환 방식
: 바이어스 시스템 - 자동 바이어스 방식
- 렌즈 시스템: 2단계 전자기: 콘덴서 렌즈
: 1단계 전자기: 대물렌즈
- 검출기 유형: E-T 검출기 (SE) /솔리드 스테이트 (4채널 BSE)
- 스테이지 트래버스: 5축 시스템 (완전 전동식)
· X, Y축: 40mm/R축: 360°, Z: 0~40mm/틸트축: -45~90°
· 내비게이션 화면 및 SEM 프로그램 화면 더블클릭 -> 이동
· 모터 정밀도: 3um 이내

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