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- i-Tube No. 2504-C-0025
- NTIS No NFEC-2025-04-305607
-
설치기관
공동기기원
(한국공학대학교 산학협력단)
- 주소 경기도 시흥시 산기대학로 237 (정왕동, 한국공학대학교)
- 담당자 박미진 (T. 031-8041-0912 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Inficon
-
모델 명
APX 300 AMU
내용연수10년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
장비활용범위공동활용서비스
-
취득일
2025-04-15
취득금액97,030,000원
-
인증정보
없음
-
기능
박막 제조 시 검출할 가스이온 전류 측정을 위한 장비로 주요 구성 및사양은 다음과 같다.
●구성
1. 장비 본체 : Transpector APX Residual Gas Analyer
2. 장비 운반전용 대차
3. 장비 전용 노트북
4. 전용 프로그램 : FabGuard Explorer
● 주요사양 :
1. Total pressure range:5E-7– 1E-3 Torr
2. System operating pressure: 1E-8 Torr – 1.2 atm
3. Detection limit : <25 ppb1
4. Sensitivity at low emission: >2.0E-6 amps/Torr
5. Sensitivity at high emission: >1.0E-5 amps/Torr -
장비 상세설명
박막 제조시 검출할 가스이온의 이온전류를 측정하여, 정납신호로 변환 및 환산하여 발생되는 가스의 종류 및 양을 검출할 수 있는 장비입니다. 박막 공정중 발생되는 불필요한 가스를 검출 하거나, 수개의 박막 공정 스텝이 시작과 끝에서 발생되는 다른 가스를 검출하여 실제 공정 시간을 측정 할 수 있는 장비로 미세한 박막을 제조하는데 필수 장비입니다.
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태이동형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료[Hr] 100,000원
장비설명
박막 제조시 검출할 가스이온의 이온전류를 측정하여, 정납신호로 변환 및 환산하여 발생되는 가스의 종류 및 양을 검출할 수 있는 장비입니다. 박막 공정중 발생되는 불필요한 가스를 검출 하거나, 수개의 박막 공정 스텝이 시작과 끝에서 발생되는 다른 가스를 검출하여 실제 공정 시간을 측정 할 수 있는 장비로 미세한 박막을 제조하는데 필수 장비입니다.
장비 구성 및 성능
박막 제조 시 검출할 가스이온 전류 측정을 위한 장비로 주요 구성 및사양은 다음과 같다.
●구성
1. 장비 본체 : Transpector APX Residual Gas Analyer
2. 장비 운반전용 대차
3. 장비 전용 노트북
4. 전용 프로그램 : FabGuard Explorer
● 주요사양 :
1. Total pressure range:5E-7– 1E-3 Torr
2. System operating pressure: 1E-8 Torr – 1.2 atm
3. Detection limit : <25 ppb1
4. Sensitivity at low emission: >2.0E-6 amps/Torr
5. Sensitivity at high emission: >1.0E-5 amps/Torr
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