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장비정보

제작사
Hitachi
모델 명
SU8700

내용연수
10년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-12-23

취득금액
701,800,000원
인증정보
ISO 16700,ASTM F1877,ISO 22309
기능
- 금속/세라믹/고분자의 미세 구조를 초고해상도 영상을 촬영가능
: 해상도 : ~0.6 nm / -0.8~0.9 nm(낮은 가속 전압)
- 다양한 검출 및 분석 옵션으로 정성/정량 분석 지원
장비 상세설명
초고해상도 영상
• 약 0.6 nm 해상도 (고전압)
• 저가속 전압에서도 선명한 이미지 확보

넓은 관찰 범위
• 20× ~ 2,000,000× 확대 배율

다양한 검출기
• SE/BSE/PD-BSE/저진공용 검출기
• STEM, EDS, EBSD 옵션으로 조성·결정구조 분석 가능

낮은 가속 전압 & 저진공 모드
• 0.1 kV 이하에서도 관찰 가능
• Variable Pressure로 코팅 없는 비도전성 시료 분석

자동화/워크플로우 지원
• 자동 정렬/조건 저장으로 반복시험 효율 향상

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 80,000원

장비설명

초고해상도 영상
• 약 0.6 nm 해상도 (고전압)
• 저가속 전압에서도 선명한 이미지 확보

넓은 관찰 범위
• 20× ~ 2,000,000× 확대 배율

다양한 검출기
• SE/BSE/PD-BSE/저진공용 검출기
• STEM, EDS, EBSD 옵션으로 조성·결정구조 분석 가능

낮은 가속 전압 & 저진공 모드
• 0.1 kV 이하에서도 관찰 가능
• Variable Pressure로 코팅 없는 비도전성 시료 분석

자동화/워크플로우 지원
• 자동 정렬/조건 저장으로 반복시험 효율 향상

장비 구성 및 성능

FE-Gun : Schottky Type
가속전압 : 200nA 이상
해상도 : x20 ~ x2,000,000
분해능 : 0.7nm @ 20kV / 1.3nm @ 1kV
Detector : UED, LED 필수
EDS 포함

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