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- NTIS No
- 설치기관 한국산업기술시험원
- 주소 경상북도 구미시 1공단로 18 (공단동)
- 담당자 최원렬 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
TESCAN
-
모델 명
SOLARIS X
내용연수10년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 전자현미원소분석기
장비활용범위공동활용서비스
-
취득일
2025-12-26
취득금액2,183,832,320원
-
인증정보
없음
-
기능
○ X-ray source(Transmission source) : 30 ~ 160 kV
○ Max target power : 25 W or better
○ Line-pair spatial resolution : 0.6 micron or less
○ Maximum Loading weight : 25 kg or better
○ 3D reconstruction -
장비 상세설명
- 반도체 소자의 특성 평가
- 칩 내부 미세균열, 배선연결상태 및 응력 검사
- 반도체 웨이퍼 내부 결함 평가
- 기판과 칩 사이 접착 상태 평가
- 반도체 생산효율 향상을 위한 공정모니터링반
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료[EA] 2,000,000원
장비설명
- 반도체 소자의 특성 평가
- 칩 내부 미세균열, 배선연결상태 및 응력 검사
- 반도체 웨이퍼 내부 결함 평가
- 기판과 칩 사이 접착 상태 평가
- 반도체 생산효율 향상을 위한 공정모니터링반
장비 구성 및 성능
○ X-ray source(Transmission source) : 30 ~ 160 kV
○ Max target power : 25 W or better
○ Line-pair spatial resolution : 0.6 micron or less
○ Maximum Loading weight : 25 kg or better
○ 3D reconstruction
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
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