○ 반도체 특성 분석기 주요사양
- 전압 측정
1) 범위: ±200mV/ ±2V/ ±20V/ ±200V
2) 분해능: 2µV at 2 V, 200µV at 200 V
3) 정밀도: 0.02%

- 전류 측정
1) 범위: ±1pA ~ ±1A
2) 분해능: 10aA at 1pA, 1fA at 1nA, 1µA at 1A
3) 정밀도: 0.012%
4) 안정화 시간: less then 100μs to 0.1%

- 전류 공급
1) 범위: ±1pA ~ ±1A
2) 분해능: 1.5fA at 1pA range

- 전류 측정
1) 범위: ±1pA ~ ±1A
2) 분해능: 10aA at 1pA range

- C-V 측정
1) 범위: 1kHz ~ 10MHz
2) DC bias : ±30V DC bias

- C-V Switch
1) CV Bias voltage : ± 200V
2) Differential bias : 4 SMUs

- 4개의 전원으로 5단자 소자 시험 가능

- 추가 모듈 삽입 시 현장에서 설치 가능

- I-V / C-V 스위칭모듈
1) I-V / C-V Measurement without lifting the prober needles or changing the test setup.

○ 프로브 스테이션 주요사양
- 5 inch Coaxial Vacuum Chuck (From 3 to 6 inch)
- Microscope: OLYMPUS – 80x (Eyepiece : 20x / Object Lens : 1 ~ 4x)
- Micro Positioner body: PB50 (Resolution : 2µm / Travel : 6mm)
- Probe Holder: Cal type or C_type
- Probe Tip: MST_T_0.5µm 10 ea