Renishaw

없음

- 단파장 레이저를 조사하여 분자의 진동에 따른 산란광 파장 변화를 측정해 물질의 화학 조성과 구조를 분석
- 리튬이온 배터리의 충·방전 과정에서 성분 및 높이 변화를 in-situ 상태에서 실시간 분석 가능
- 자동 정렬 및 보정 기능으로 입력 레이저 세기, 필터, 초점 등을 자동 최적화
- 다중 레이저(532 nm, 633 nm, 785 nm) 지원으로 다양한 시료 특성 분석
- 라이브 오토포커스로 시료 높이 변화에도 초점을 지속 유지
- 고속 라인 및 영역 매핑 기능으로 넓은 영역의 화학 분포를 빠르게 측정
- 고해상도 현미경 및 CCD 검출기 기반으로 미세 구조 정밀 분석 가능

단파장(가시·자외) 레이저 조사 → 분자 진동에 따른 산란광 파장 변화(라만 시프트) 측정으로 물질 고유 스펙트럼 기반 화학·구조 분석 수행
일반 대기에서 측정이 어려운 시료를 in situ 상태로 측정 가능
리튬이온전지 충·방전 중 성분 변화와 이에 따른 높이(두께) 변화까지 실시간 초점 유지로 동시 분석
고속 검출기와 라인 포커스/라인 매핑으로 최소 시간에 대면적 매핑(large mapping) 수행

ㅇ 핵심 성능 및 구성
- 분광기: 250 mm 이상 초고효율 분광기, 엔코더 피드백 제어 회절격자 스테이지, 듀얼 그레이팅(1200/1800 lines mm⁻¹), Extended scanning으로 단일 CCD 시야 초과 영역을 무(無)스티칭 고해상 스캔, CCD 비닝으로 분해능 연속 가변.
- 레이저/필터: 532/633/785 nm 다중 레이저 지원, 각 파장별 자동 Rayleigh 라인 리젝션 필터(≈100 cm⁻¹까지 측정), 모터 구동 ND 필터 16단(0.00005–100%)로 출력 정밀 제어
- 검출기: NIR/UV 강화 딥디플리션 CCD(1024×256), 펠티에 –70 °C 냉각
- 현미경부: 리서치급 반사조명 현미경, 대물 10×/20×/50×(LWD)/100×, 양안·컬러 카메라, 가시·UV 렌즈 모듈 모터 구동/키네매틱 마운트
- 자동화: 입력 레이저 파워 자동 정렬·최적화, 레이저 자동 전환·핀홀 얼라인, 네온/백색광 자가 보정·강도 보정, 화이트/라만 영상 자동 전환
- 스테이지/매핑: 엔코더 제어 XYZ 모터 스테이지, 최소 스텝 x,y = 1 nm(해상도 50 nm), z = 8 nm, 이동 X > 100 mm / Y > 70 mm, 산점/라인/영역 매핑 및 컨포컬 심도 프로파일링 지원, 전용 맵핑 SW 포함
- 라이브 오토포커스: 프리스캔 없이 연속 폐루프 포커싱, 광학 대비 불필요, 스테이지 전 구간 지원 → 온도·기계적 크리프·건조 등으로 동적 높이 변화 시에도 초점 유지