1. 라디오 주파수 발생장치
1) 라디오 주파수 ; 40 MHz
2) 형식 ; 자유발진형
3) 코일 냉각 ; 공냉식 또는 수냉식
4) 주파수 출력 ; 듀얼뷰 1500 watts이상, 1 watt 컴퓨터 조정 가능
5) 플라즈마 기술 ; 냉각이 필요 없어야하고, 알곤가스 소모량을 분당 8-15리터로 하여 분석이 가능
2. 시료 도입 장치
1) 수직토치 ; 듀얼뷰 2.0mm 내경의 알루미나 혹은 수정 인젝터를 갖춘 조립형
2) 토치 마운트
a) 정렬 ; 외부에 노출된 분무함은 서로 다른 매질 내에서 최상의 결과를 낼 수 있도록 플라즈마와 연계되어 조정 가능
b) 온도조절 ; 토치 마운트는 토치 함의 열적으로 안정한 외부에 위치한다.
c) 필요 도구 ; 토치나 시료 도입부를 제거할 때에 도구가 필요하지 않다.
d) 플라즈마 꼬리제거 ; 광확계를 보호하며 이온화 효율을 높일 수 있는 별도의 소모품 교체가 필요 없음.
3) 분무함
a) 디자인 ; 회전식 분무함
4) 분무기
a) 디자인 ; 산에 의한 부식에 화학적으로 안전한 젬팁으로 제작된 교차흐름분무기 또는 동심형 유리분무기
b) 부식에 대한 저항도 ; HCl, HNO3, H2SO4, H3PO4, 20%(v/v) 50%(v/v) 용액과 NaOH 30%(w/v)
c) 적합성 ; 초음파분무기와 고체시료 도입장치와 결합할 수 있는 넓은 적합도
5) 연동 펌프
a) 채널 ; 4-채널, 컴퓨터로 제어가능
b) 속도 ; 내경 0.76 mm 의 튜브를 이용하여 0.2 - 5mL 의 속도를 가지며 0.1mL/min 단위로 조절 가능
3. 아르곤 흐름 조절
1) 플라즈마 아르곤 ; 컴퓨터 조정, 0 - 20 L/min, 1.0 L/min 증감
2) 보조 아르곤 ; 컴퓨터 조정, 0 - 2 L/min, 0.1L/min 증감
3) 분무기 아르곤 흐름 ; 컴퓨터 조정 mass flow controller, 0 - 2 L/min, 0.01 L/min 증감
4. 광학계
1) 다색 화장치