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장비정보

제작사
파크시스템스 주식회사
모델 명
Park FX40

내용연수
9년
구분
주장비

용도
시험
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-12-17

취득금액
290,000,000원
인증정보
없음
기능
- 원자간력 분석기는 활성탄소섬유를 상온 ~ 600℃ 까지 열처리하여 탄소섬유의 원자간의 결합력 수치 측정과 접촉 또는 비접촉을 통한 표면의 온도변화에 따른 Roughness 물성 변화를 확인할 수 있으며, 유해가스 대응 보호복 제조를 위한 금속이온 첨착물질의 부착여부 및 결합 강도의 분석이 가능하여 고품질 원단제조 분석기기 목적으로 활용하는 장비로 또한 이러한 상호작용력 측정을 이용하여 시료 표면의 정량적인 탄성계수(Elastic modulus)와 접착력(adhesion force)를 측정할 수 있어, 첨착된 금속이온의 결합력의 측정이 가능함.
장비 상세설명
- 마이크로머시닝(micromachining)으로 제작된 탐침을 시료 표면에 근접시켜 발생하는 원자 간 상호작용력(반데르발스 힘)을 측정하고, 시료의 표면을 나노미터(nm) 단위 이하의 정밀도로 3차원 형상 분석을 수행하며, 대기 중에서도 초정밀 분해능으로 활성탄소섬유 뿐만 아니라 도체, 반도체, 부도체 등 모든 시료의 표면을 관찰
- 원자간력분서기는 600℃까지 온도 조절이 가능한 스테이지가 설치되어, 극한 환경에서 금속이온이 탈리되는 온도 조건을 분석하기 위한 필수 장비임

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
건별

장비 사용료
[EA] 100,000원

장비설명

- 원자간력 분석기(Atomic force microscope, AFM)는 마이크로머시닝(micromachining)으로 제작된 탐침을 시료 표면에 근접시켜 발생하는 원자 간 상호작용력(반데르발스 힘)을 측정하고, 시료의 표면을 나노미터(nm) 단위 이하의 정밀도로 3차원 형상 분석을 수행하며, 대기 중에서도 초정밀 분해능으로 도체, 반도체, 부도체 등 모든 시료의 표면을 관찰할 수 있음
- 상호작용력 측정을 이용하여 시료 표면의 정량적인 탄성계수(elastic modulus)와 접착력(adhesion force)를 측정할 수 있어, 첨착된 금속이온의 결합력의 측정이 가능한 장비임.

장비 구성 및 성능

1. 주장비
- AFM 컨트롤러 / 데이터 처리 시스템(1세트)
- 최대 100㎛×100㎛ 수평(XY) 스캐너: Closed-loop feedback 제어(1세트)
- 최대 15㎛ 수직(Z) 스캐너(1세트), - 고정밀도 수평(XY) 모터 스테이지(1세트)
- 고정밀도 수직(Z) 모터 스테이지(1세트) - Multi Sample Chuck (동시 4개 이상) (1세트)
- 고해상도 디지털 CCD 카메라 (디지털줌, 5.1M Pixel) (1세트)
- 데이터 수집 소프트웨어 (전자동화 기능 포함) (1세트)
- 데이터 처리/분석 소프트웨어 (자동 flattening 기능 포함) (1세트)
- 액티브 진동차단 시스템(1세트) - 일체형 소음 차폐장치()1세트
2. 부속장비
- Non-Contact mode type Si cantilever(10개)
- Enhanced electrical properties 모듈 내장(EFM, KPFM, PFM) (1세트)
- 전도성 원자힘현미경(Conductive AFM) 모듈 (1세트)
- 온도조절스테이지(Temperature Controller Stage) 모듈 (1세트)

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