RAITH GMBH

없음

마스크리스 리소그래피(Picomaster 200)은 반도체 제작을 위해 반도체 표면에 특정 미세 패턴을 그릴 수 있게 해주는 장비이다.

이 장비의 특징으로는 기존에 사용하던 전통적인 장비들은 빛이 투과되는 부분을 구분 지어주는 패턴 마스크들을 사용 하였고, 패턴 마스크 제작 과정에서 아주 작은 크기의 패턴은 만들기 힘들다는 어려움이 있었다. 하지만 Picomaster 200 장비는 패턴 마스크 없이 컴퓨터 프로그램을 이용하여 디지털 마스크를 그린 뒤, 빛이 투사 되는 부분을 장비 자체적으로 조절하면서 반도체 표면에 필요한 미세 패턴을 그릴 수 있다.
패턴의 위치는 장비의 프로그램과 컨트롤러를 이용하여 x축, y축, theta 축을 이동하며 정렬한다.