- 비접촉 모듈
가) 160x 이상 촬영 가능
나) 측정속도 : 1회 촬영 시 최소 1초 이내 촬영 가능
다) 측정범위(1회 촬영) : 15mm 이상
라) 높이 측정 범위 : 최대 50mm 이상
마) 표시 분해능 : 0.1㎛ 이하
바) 높이 측정 반복 정도 : σ=0.5㎛ 이하
사) 수광 렌즈 : 텔레센트릭 렌즈

- 접촉식 모듈(형상)
마) 측정범위: 최대 측정 직경: 150mm 이상
최대 측정 높이: 270mm 이상
측정원리:　스타일러스 접촉 방식,
Touch Probe 360도 전자동 자석 타입
측정력: 1N 이하
측정 정밀도: 진원도 에러 ±0.03㎛ 이하
측정 테이블: 자동 세팅(센터링&틸팅)
측정물 최대 무게: 15kg 이상