TESCAN

없음

- 0.2 kV까지 전압 범위가 넓어 폴리머 및 절연 시료와 같은 빔에 민감한 시료의 이미지 획득 및 나노스케일 촬영 가능
- 30 kV에서 3.0 nm의 분해능을 보유하며, 2-1,000,000x 이미지 확대를 통해 나노 입자의 형태, 코팅의 결함 등과 같은 높은 수준의 이미지 획득 가능
- XYZ축 조절과 rotation, tiliting이 가능한 stage로 인해 시료 분석의 효율성 향상 및 활용 범위 확대 가능
- 추가 광학 탐색 카메라가 필요 없이 2배의 낮은 배율로 시료에 대한 쉽고 정확한 탐색 가능
- TEM과 같은 컬럼 구조의 IML 사용으로, 다양한 모드 응용 및 자동 beam current 조절로 쉽고 빠른 장비 운영과 우수한 어플리케이션 데이터 획득 가능

- 본 이미지시스템 장비는 TESCAN VEGA의 4세대 SEM 모델로 일반 광학현미경으로 관찰할 수 없는 미세한 구조의 관찰과 원소 분석이 가능함
- TESCAN 자체 소프트웨어의 단일 창에서 SEM 이미징과 실시간 원소 분석 수행이 가능하여 측정 과정을 크게 단순화하여 효율적인 시료 분석이 가능함
- 광범위한 분석기기 장착이 가능한 모듈형 분석 플랫폼으로 라만 분광기, 수냉식 BSE 등 필요한 분석기기의 장착을 통해 분석의 응용범위를 확장할 수 있음
- Coolstage를 활용하여 일반적인 SEM 사용시 손상을 입을 수 있는 시료의 측정이 가능함