티케이씨
모델명없음
10년
주장비
시험
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
공동활용서비스
2025-09-23
214,893,600원
없음
○ PCB 혹은 유리기판을 수직 상태로 단면 혹은 양면을 구리 도금하는 장비로 Predip조, 수세조1, 수세조2, 펄스 구리도금조, 일반 구리도금조, 세척&건조공정조로 구성
싱글판넬 도금장비는 단일 기판(패널)을 개별적으로 처리하여 균일한 도금 두께와 우수한 품질을 확보하는 장비이다. 전해액 순환과 전류 제어를 정밀하게 수행해 패널 전체에 균일한 금속막을 형성하며, 공정 조건을 개별 제어할 수 있어 고품질 및 재현성이 뛰어나다. 특히 대면적 기판이나 고정밀 패턴 도금에 적합하고, 세정·활성화·건조 등의 자동화 기능을 갖춘 경우가 많다.
기관의뢰
고정형
일별
[Hr] 100,000원
싱글판넬 도금장비는 단일 기판(패널)을 개별적으로 처리하여 균일한 도금 두께와 우수한 품질을 확보하는 장비이다. 전해액 순환과 전류 제어를 정밀하게 수행해 패널 전체에 균일한 금속막을 형성하며, 공정 조건을 개별 제어할 수 있어 고품질 및 재현성이 뛰어나다. 특히 대면적 기판이나 고정밀 패턴 도금에 적합하고, 세정·활성화·건조 등의 자동화 기능을 갖춘 경우가 많다.
○ PCB 혹은 유리기판을 수직 상태로 단면 혹은 양면을 구리 도금하는 장비로 Predip조, 수세조1, 수세조2, 펄스 구리도금조, 일반 구리도금조, 세척&건조공정조로 구성
1) Substrate Jig
- Size : 510 x 515 mm
- Sub. Thickness : 최소 0.1mm 장착 필요
- Sealing : Edge exclusion 12mm 이하
- Function : Jig 이송 장치 필수
2) Predip조
- Acid solution : Sulfuric acid
- Agitation : Ejector nozzle type
- Tank : 100~160L
- Function : Level sensor
3) 수세조
- Agitation : Ejector nozzle type
- Tank : 100~160L
- Function : Level sensor
4) 펄스 구리도금조
- Anode : DSA(IrO2/Ti) / 2ea
: Cationic membrane / 2ea - Cathode
: 기판 두께 불균일도 조절용 교환가능한 차폐판 2ea 이상
- Rectifier : ~40A, ~8V / 2ea
: Forward pulse width : 10~100ms
: Reverse pulse width : min 0.1ms
- Tank : 140~200L
- Filtering : Membrane type
- Function : Heating, Cooling, Level sensor
- Agitation : 상하 paddling (stroke ~40mm)
5) 일반 구리도금조
- Anode : DSA(IrO2/Ti) / 2ea
: Cationic membrane / 2ea
- Cathode : 기판 두께 불균일도 조절용 교환가능한 차폐판 2ea 이상
- Rectifier : ~40A, ~8