Tpt
HB16
9년
주장비
교육
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 와이어본딩
공동활용서비스
2024-11-06
73,500,000원
없음
● 단순 웨지 툴 및 캐플러리 교체로 웨지본딩 및 볼 본딩, 범프본딩, 리본 와이어 본딩 가능.
● 골드 및 알루미늄 와이어 사이즈 17~75 Micron meter 가능.
● 리본와이어 최대 25 x 250 Micron meter 가능
● 모터 및 센서를 통한 Y축 및 Z축 자동화 가능.
● 자동으로 샘플 높이 단차 측정 가능
● 와이어 본딩 루프 스타일 자동형성 및 레시피 설정 가능.
● UI 터치스크린 가능.
● 스테이지 마우스를 통하여서 스테이지 200mm x 250mm 이상가능.
● 최대 100가지 공정 레시피 저장 가능.
반도체 설계에 있어 설계 후 만들어진 칩을 테스트가 가능한 PCB 등에 연결하는 와이어본딩 공정에서 활용되는 장비입니다. 구축 장비는 bench형 와이어 본더 장비로 wedge-wedge, ball-wedge, ribbon bonding, bump bonding이 가능하며, Z축 센서가 터치다운을 식별하고 높이 매개변수를 정밀하게 설정할 수 있으며, 정밀한 루프 반복이 가능한 전동축을 보유하고 있습니다. 또한 정밀한 테일 길이 제어가 가능하고 다양한 재료(gold, aluminium, silver, copper)를 와이어로 사용할 수 있도록 온도, ultrasonic 파워 등을 정밀하게 조절할 수 있는 기능을 가지고 있습니다.
기관의뢰
고정형
건별
1원
- 유,무기 화합물 박막 코팅 소자에 와이어 본딩 공정에서 사용되는 장비
- 와이어 본딩 시 일정한 와이어 루프 형상 설정이 가능한 세미 오토 기능을 가짐.
- 본 장비 한 대로 와이어 본딩 방법 중 볼 본딩, 웨지 본딩, 리본 본딩, 범프 볼 본딩이 모두 가능
- 유기물 기반의 박막의 경우 온도, 습도에 취약 하기 때문에 반드시 패키징을 수행해야 하며 패키징이 모두 완료되지 않은 와이어본딩 상태는 매우 민감하기 떄문에 외부에서 작업을 통하여 운반 하는것보다 내부에서 공정을 진행하는 것이 안전함
- Gold wire diameter: 17 – 75 𝜇m
- Aluminium wire diameter: 17 – 75 𝜇m
- Ribbon size: 25×150 𝜇m
- bond time: maximum 20s
- bonding force: maximum 150 cNm
- wire feed angle: 90°
- 6.5 inch TFT touch screen
- ultrasonic system: 63.3 kHz
- ultrasonic power: maximum 10W
- motorized Z travel: 17 mm
- motorized Y travel: 10 mm
- fine table motion: 10 mm
- temperature controller: maximum 250 ℃
- dimensions: 680×640×490 mm