코리아바큠테크㈜

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E-beam Evaporator(전자빔 증착기)는 고에너지 전자빔을 사용하여 금속 및 기타 재료를 증착하는 데 사용되는 장비입니다. 주로 반도체 소자 제작에 필요한 금속 전극을 형성하는 데 활용되며, 금속이 없는 반도체는 동작하지 않으므로 필수적인 장비입니다. 이를 통해 정밀하고 균일한 박막을 다양한 기판 위에 증착할 수 있습니다.

E-beam Evaporator는 다음과 같은 원리로 동작합니다.
1. 전자빔 생성: 고전압 전자빔이 발생하여 타겟 물질(증착하고자 하는 금속)에 에너지를 전달합니다.
2. 물질 증발: 타겟 물질은 전자빔의 고에너지에 의해 증발하여 증기 상태로 변환됩니다.
3. 박막 형성: 증기화된 금속 원자들이 기판 위에 응결하여 균일한 박막을 형성합니다.
이 장비는 높은 진공 상태에서 작동하여 불순물을 최소화하고 고순도의 증착층을 확보할 수 있습니다. 이를 통해 Ti/Au, Pt/Au 등 다양한 조합의 금속 박막을 정밀하게 제작할 수 있습니다.