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장비정보

제작사
BRUKER
모델 명
X-Flash 630M

내용연수
10년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-11-14

취득금액
58,378,000원
인증정보
없음
기능
주사전자현미경에 결합된 미세 미소영역의 원소검출기
1) 단일/다수 지점 원소 분석
2) 원소 라인 스캔
3) 원소 이미지 매핑
4) 하이퍼맵핑
5) 보고기능을 구비한 설비
장비 상세설명
주사전자현미경 설비의 부대설비로 주사전자현미경에서 이미지 분석이 완료된 후 성분 분석이 필요한 경우 SEM chamber 내에서 즉시 성분 분석이 가능하도록 구성되있으며,
주사전자현미경에 결합된 미세 미소영역의 원소검출기로 검출가능원소 범위는 Be(4)부터 Cf(98)까지 이며 각 원소별 에너지분해능은 Mn kα 분해능은 100kcps에서 129 eV 미만, FKα 분해능은 100kcps에서 70eV 미만, C Kα 분해능은 100kps에서 62 eV 미만으로 국제 ISO표준 15632:2012를 준수함. 검출기는 SSD 형태로 펠티어 냉각소자를 사용하여 액체질소 사용이 필요없으며, 센서크기는 30mm2입니다.
본 설비에는 데이터 및 보고 기능을 제공혀며 업체에서는 실습을 위한 커리큘럼의 반도체 분석 계측 실습자료를 제공합니다.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 100,000원

장비설명

주사전자현미경에 결합된 미세 미소영역의 원소검출기로 반도체 박막 및 장비부품 내 존재하는 이물질 분석이 가능한 설비입니다. 검출가능원소 범위는 Be(4)부터 Cf(98)까지 이며 각 원소별 에너지분해능은 Mn kα 분해능은 100kcps에서 129 eV 미만으로 국제 ISO표준 15632:2012를 준수하고 있습니다. 검출기는 SSD 형태로 펠티어 냉각소자를 사용하여 기존처럼 액체질소 사용이 필요 없어 안전한 설비입니다.

장비 구성 및 성능

1)장비구성(모델명) : X-Flash 630M
2)주요 성능 및 규격
- Chip Size : 30mm2
- 원소검출 범위 – Boron(5) ~ Americium(95)
- Spectrum Resolution( 분해능 ) – 129eV 이하(MnKα 기준)
- 최대 X-ray 처리량 – 150,000 CPS
- 데이터 및 보고기능 제공
- 다양한 report 형식 제공 및 원하는 형식으로 편집 가능
- Word, PDF로 보고서 저장 가능
-검출가능원소 범위 : Be(4) - Cf(98)
- Mn kα res는 100kcps에서 129 eV 미만
-FKα res는 100kcps에서 70eV 미만
- C Kα res는 100,kps에서 62 eV 미만
- ISO 15632:2012 준수 보장
- 검출기 형태 : SDD
- 냉각형태 :펠티어(Peltier)
- 소프트웨어 : Quantax ESPRIT

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