“① 광원부
- 램프 타입 : 수은 머큐리 숏 아크 램프 (350W)
- 파장 : 350nm - 450nm
- 365nm 빛 강도 : 25 mW/cm2
- 최대 자외선 노광 영역 : 6.25 in. x 6.25in.
- 자외선 노광 균일도 : <±3%
② 마이크로 스코프
- 듀얼 CCD 줌 마이크로스코프
- 샘플 로딩부 축 이동 : 양쪽 축 X, Y, Z
- 마스크 및 광원부 여유공간 : 60 ~ 100mm
- 축의 움직임 범위 : Y 축 ± 20 mm
- 배율 : 85x ~ 540x
- 마스크 및 마이크로스코프 거리 : 86 mm / 32 mm
③ 스테이지 및 제어부
- 노광 시간 : 0.1 초 - 999.9 시간
- 스테이지 이동 : X, Y, Z and 회전축
X, Y : ±5 mm, Z 운동범위 : 10 mm, 회전축 : ±4°
- 컨텍 및 노광 모드 : 진공, 하드, 소프트 컨텍 모드
- 정렬 오차 : <±1.0 마이크로
- 진공 / 압축 공기 제어 : 시편부, 마스크, 척 잠금 & 마스크 및 웨이퍼 접촉
④ 해상도
- 진공 접촉 : 1um
- 하드 (압박) 접촉 : 2um
- 소프트 접촉 : 3um
- 20um 근접모드 : 5um
⑤ 제진대
- 격리 규격 : 1000 x 1000 x 20 t
- 높이 : 750 mm (바닥 - 상부까지)
- 수평화 : 3- 포인트 자동 수평 시스템 적용
- 자연 주파수 : 수직 : 1.2 ~ 1.5 Hz / 수평 : 1.5 ~ 1.8Hz
- 사각 암 레스트 부착
- 언더 쉘프 부착
- 공압 : >5 kgf/㎠
⑥ 유틸리티 훅 업
- 전기 용량 : 220VAC / 15A / 단상 및 그라운드
- 질소 : >55 psi (4㎏/㎠ ), 6 mm 튜브(PU)
- 공압 : >85.5 psi (Over 6 ㎏/㎠) , 6mm 튜브 (PU)
- 진공 : < -650 mmHg“
- 장비소프트웨어명 : MDA-400S