1. 분석 파트(조각 시료 분석 및 파우더 시료 측정 기능 포함)
1) QMS 검출능력: 200 amu 이상
2) 표준시료 기반 교정 및 보정, 정량화, 백그라운드 노이즈 제거 가능
2. 진공 파트(베이크아웃 및 DAQ 기능 포함)
1) Base Pressure: (Main) < 5×10-6 Pa + (Load-lock) < 5×10-3 Pa
2) Dry Pump (N2, 60,000 rpm 기준):
(Main) > 250 L/min + (Load-lock) > 113 L/min
3) TMP (N2, 90,000 rpm 기준):
(Main) ≥ 260 L/sec + (Load-lock) ≥ 67 L/sec
4) Vacuum Gauge:
(Main) 대기압부터 5×10-8 Pa 이하 (Load-lock) 1×10-7 Pa 이하까지
3. 가열 파트(냉각 기능 포함)
1) 최대 온도: 1,200 ℃ 이상 + 승온률 1 ℃/sec 이상
2) Quartz guided IR rod 가열 방식 + Thermocouple 기반 온도 측정
4. 전용 소프트웨어
- 측정용 소프트웨어 명: TDS Measurement
- 분석 결과 분석용 소프트웨어 명: TDS Data Viewer