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장비정보

제작사
Hamamatsu Photonics
모델 명
PHEMOS-X

내용연수
10년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
전기/전자장비 > 측정시험장비 > 절연/누설/정전기측정시험장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-06-18

취득금액
1,218,918,000원
인증정보
없음
기능
1. Detector

1.1 Detector 타입 : 열화상 카메라

1.2 감지 파장대 : 1700nm ~ 5300nm

2. 파워서플라이

2.1 인가 전압 : -1500V ~ 1500V

2.2 전류 제한 : -100mA ~ 100mA

2.3 Port : 2 Port ( 1 Ground and 1 Signal / BNC )

3. Thermal Lock-in 기능 지원

4. Probe stage

4.1 Probe stage chuck 크기 : 150mm , 1.5kV 전압 지원 기능
장비 상세설명
○ 시스템 반도체, 차량용 반도체, 전력반도체, 반도체융합부품, 메모리반도체 등 개발제품 또는 양산제품에 Bias를 인가하여 작동성능 확인하여 제품의 품질을 확인하고 ESD Test를 진행할 수 있는 테스트 시스템

- 시스템 반도체, 차량용 반도체, 전력반도체, 반도체융합부품, 메모리 반도체 등 작동 성능 확인 및 제품 품질확인 테스트

- 1.5kV급 고전압이 필요한 전력반도체의 Bias를 인가하여 작동성능 테스트

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 200,000원

장비설명

○ 시스템 반도체, 차량용 반도체, 전력반도체, 반도체융합부품, 메모리반도체 등 개발제품 또는 양산제품에 Bias를 인가하여 작동성능 확인하여 제품의 품질을 확인하고 ESD Test를 진행할 수 있는 테스트 시스템
- 시스템 반도체, 차량용 반도체, 전력반도체, 반도체융합부품, 메모리 반도체 등 작동 성능 확인 및 제품 품질확인 테스트
- 1.5kV급 고전압이 필요한 전력반도체의 Bias를 인가하여 작동성능 테스트
○ 웨이퍼 및 패키지 Level의 ESD(정전기 방전) Test
- 본 장비는 관련 각종 국제 규격에 의거 다이오드, TR, 그리고 IC 그리고 웨이퍼 레벨에서 정전기 방전 시험을 진행하여 ESD 현상에 의한 제품들의 내성을 평가 검증하여 반도체 부품의 신뢰성을 보증하기 위한 시험 장비
○ 반도체 및 모듈 내부에서 일어나는 Metal 배선 관련 Short, Bridge 등의 불량분석
○ 모빌리티 및 전력용 반도체 관련 설계한 표준에 의거한 개발 또는 양산되는 제품이 규정된 규격과 고객 요구사항을 만족할 수 있는 지를 확인하고 설계 및 양산단계에서 설정된 작동성능 목표를 달성하였는지를 검증

장비 구성 및 성능

1. Detector
1.1 Detector 타입 : 열화상 카메라
1.2 감지 파장대 : 1700nm ~ 5300nm
1.3 해상도 : 640(W) x 512(H)
1.4 NETD : 25mK @25℃
1.5 Frame : 120Hz 이상
1.6 동작 온도 : -180℃ 이하
2. 파워서플라이
2.1 인가 전압 : -1500V ~ 1500V
2.2 전류 제한 : -100mA ~ 100mA
2.3 Port : 2 Port ( 1 Ground and 1 Signal / BNC )
3. Thermal Lock-in 기능
3.1 Thermal Lock-in 기능 지원
3.2 Thermal Lock in 가용 주파수 : 1Hz ~ 80Hz
4. Optic stage
4.1 Optic stage stroke : X축 : 30mm, Y축 : 30mm, Z축 : 50mm
4.2 Optic stage repeatability : X축 : ± 2um, Y축 :　± 2um, Z축: ± 2um
4.3 Optic stage resolution : X축: 0.1um, Y축:　0.1um, Z축: 0.1um
5. 렌즈 구성
5.1 Lens 최대 장착 개수 : 5개
5.2 최저배율 열화상 카메라 렌즈 및 개구수 : 1배 렌즈 (개구수 0.1)
5.3 최고배율 열화상 카메라 렌즈 및 개구수 : 8배 렌즈 (개구수 0.5)
5.4 Probing 용 렌즈 : 5배 렌즈 이상
6. Probe stage
6.1 Probe stage chuck 크기 : Φ 150mm
6.2. Probe stage stroke : X축 : 150mm, Y축 : 150mm, Z축 : 50mm
6.3 Probe stage Theta range : ± 5°
6.3. Probe stage 1.5kV 전압 지원 기능
7. Operation 소프트웨어
7.1 기능 : Stage 제어, Detector 제어, 이미지 취득 제어, 자동 이미지 보정, 자동 focus 보정
7.2 Di

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