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장비정보

제작사
태성글로벌텍
모델 명
AWBS-1000

내용연수
9년
구분
주장비

용도
생산
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2024-10-17

취득금액
96,319,710원
인증정보
없음
기능
실리콘웨이퍼와 글라스웨이퍼는 열과 전기를 이용하여 양극 접합에 사용되는 장비로,
1) 웨이퍼 사이즈는 4, 6, 8 인치 원형 사이즈 가능
2) 최대 진공도는 5.0 x 10^-2 Torr
3) 기판의 온도는 상온에서 450℃ 이내로 자유롭게 설정 가능
4) 전압은 0.5~1500V 까지 조절 가능
장비 상세설명
2개의 다른 기판(실리콘웨이퍼, 글라스웨이퍼)중에서 글라스웨이퍼를 음극에 접촉되도록 겹쳐서 챔버에 넣으며 진공은 로터리 펌프로 구현한다. 기판의 온도를 450℃ 이내 조절할 수 있으며 설정 온도에 도달하면 전압을 1500V 까지 상승을 시키면서 양극 접합을 진행한다.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
기타

장비 사용료
[EA] 250,000원

장비설명

가. 양극 웨이퍼 접합 시스템은 유리와 실리콘처럼 산화될 수 있는 재질의 웨이퍼를 접합하는 방법임
나. 유리에 함유된 Na 원소의 이동에 의해 접합시키는 장비로, 중간재(Interlayer)를 사용하지 않고 직접 접합하는 장비임
다. 웨이퍼 사이즈를 4, 6, 8 인치를 사용할 수 있도록 지그 업그레이드
라. 기판의 온도를 상온에서 450℃ 이내로 자유롭게 설정
마. 양극 접합 시 전압은 1500V 까지 공급 가능
바. 저진공 상태 측정

장비 구성 및 성능

1. 사용 가능한 기판 사이즈
- 4, 6, 8 인치
2. 저진공용 펌프
- 로타리 펌프 : Pumping speed:> 400 l/min
3. 기판온도 제어
- 할로겐 램프 타입
- 온도 컨트롤러 : RT ~ Max 500 ℃
4. 기판전압 제어
- HV Power : 0.5 ~ 1500 V
5. 진공 측정 및 표시기
- 피라니 타입 게이지 : 760 ~ 1x10^-3 Torr
- 디스플레이표시

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