(주)세화하이테크
MS-EXP-2B Gas Cabinet 2BT, STDS-100S
10년
주장비
교육
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
공동활용서비스
2024-11-14
43,920,000원
없음
-가스 캐비넷은 암모니아(NH₃)와 수소(H₂)를 포함한 반응가스를 작업 환경으로 공급하기 위해 설계된 장비로, 내부 압력 조절 장치를 통해 가스의 압력을 일정하게 유지하고 유량 조절 장치를 통해 공정장비에 필요한 양을 정확히 공급.
-건식 스크러버는 공정 중 발생하는 유독성 가스와 잔여 부산물을 처리하기 위한 장비로, 스크러버 캐니스터 내부의 흡착제가 유해 가스와 반응하여 부산물을 제거. 공정 중 캐니스터의 압력이나 온도가 설정된 한계를 초과할 경우 자동 바이패스 밸브를 작동시켜 가스를 우회 배출하며 효율적으로 가스를 처리
1) 유해가스 암모니아와 수소 가스를 안전하게 보관하고 사용하기 위한 장치
2) 가스 누출이나 유해 가스의 노출을 방지하는 장비
3) 반도체 증착 공정 이후 발생하는 가스 상태의 부산물을 효과적으로 처리하고 배기 시스템을 통해 외부로 배출하기 위해 사용되는 장치
직접사용
고정형
시간별
[Hr] 100,000원
<가스 캐비넷>
-가연성, 부식성, 독성 가스를 안전하게 보관하기 위해 부식 방지용 분체 도장 처리된 가스 캐비넷 케이스와 금속 와이어를 사용.
-가스 캐비넷 내부에 압력 조절 장치가 포함되어 있어 가스 압력을 일정하게 유지하며, 유량 조절 장치를 통해 실험 장비에 정확한 양으로 가스 공급 가능.
-자동 밸브를 통한 전환 기능을 통해 퍼지(purge) 및 공급 작업을 설정 조건에 맞게 안정적으로 수행. 이를 통해 실험의 정확성과 일관성을 유지.
-가스 누출 감지기가 장착되어 있어, 누출 시 즉시 신호를 감지하고 경보를 울리며 밸브 셔터를 작동시켜 가스 공급 차단. 작업자의 안전과 작업 환경 보호를 강화.
<건식 스크러버>
- 스크러버 캐니스터에 채워진 흡착제가 유해 가스와 화학 반응을 통해 염을 생성하며 가스를 제거.
- 흡착제와 가스의 반응으로 생성된 염에 의해 캐니스터 내부 압력이 상승 시, 설정된 압력 한계에 도달하면 자동 바이패스 밸브가 작동하여 안전하게 가스를 우회 배출.
- 가스 농도가 높아 흡착제 층의 발열로 캐니스터 온도가 설정된 한계치를 초과할 경우, 자동 바이패스 밸브가 열려 가스를 우회 배출하여 안전한 작업 환경 확보.
- 증착 공정에서 발생하는 유해 가스를 안전하게 처리 및 배출하여 실험 환경의 안정성과 작업자의 안전을 보장.
가스 캐비넷 (MS-EXP-2B)
1. External size: 1300 (mm) * 750 (mm) * 2250 (mm)
2. 가스 흐름을 유지하기 위한 check valve(STS316L E.P / Max. working Pressure : 20.6MPa/ Max temp.: -10~80℃ )구간별 설치
3. Pressure transducer: STS316L E.P / Range : -15~3000, -15~150 Psig
4. High pressure; STS316L E.P / max. woring P: 20.6Mpa/operationg P: 0.4~0.6MPa
5. Tube: STS316L E.P(Seamless)/RMAX. : 0.7 μm
건식 스크러버(STDS-100S)
1. External size: 650 mm(W)*720 mm(D)*1500 mm(H)
2. Flow rate Max. 50L/min
3. Process flow per system 100 SLPM
4. Pressure 80 psig(5.5bar, 5.6kgf/cm2)
5. Power consumption Max. 0.6KVA