Carl Zeiss

22-9354-7호(원자력안전위원회)

1. Imaging
-Spatial Resolution: 0.5 μm
2. X-ray Source
-Voltage Range: 30~160 kV
-Maximum Output: 25 W
3. Detector System
-Objective: 0.4x, 4x, 20x, 40X
4. Stages
-Sample Stage (load capacity): 25 kg
-Sample Stage Travel (x, y, z): 50, 100, 50 mm
5. Wide Field Mode: 0.4x and 4x
6. In Situ Interface

XRM은 X선을 시료에 조사하여 시료를 통과한 투과 X선의 강도 분포를 이용하여 비파괴 방식으로 내부 구조의 2차원투과 이미지를 얻는 장비이다. 또한 시료를 회전 시키면서 연속 촬영한 2차원 투과 이미지를 이용하여 X선 CT（Computed Tomography) 영상을 재구성함으로 시료의 고분해능(high-resolution) 3차원 구조를 가시화 할 수 있다.
일반적인 마이크로 CT장비는 시료와 X선 소스의 거리가 가까울수록 기하학적 배율이 확대되고 멀수록 기하학적 배율이 축소되지만, ZEISS의 Xradia 620 Versa 장비는 거리 배율과 광학 배율(대물렌즈)의 Two stage 배율 조절 방식으로 기존 장비로는 구현할 수 없었던 긴 작업 거리(Working distance)를 구현하면서 동시에 고강도 X선원을 이용하여 일반 CT장비보다 고배율 및 고해상도 영상 분석이 가능하다.