금오테크
KCT023
5년
주장비
시험
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 달리 분류되지 않는 측정시험장비
2023-08-14
2,536,323,000원
없음
- 본 장비는 태양광 기업 공동활용 연구센터에 구축되며 고효율 결정질 실리콘 태양전지 및 고출력 결정질 실리콘 모듈, 더 나아가 초고효율 차세대 태양전지 및 모듈 제조 공정용 장비들의 운용을 위한 핵심 보조장치로 활용될 것임.
- 태양광 기업 공동활용 연구센터는 태양전지 50MW급, 모듈 100MW급 제조 FAB 구축을 목표로 함.
- 연구 수요 맞춤 대응을 위해 센터 내 양산급 규모의 다양한 태양전지 크기 (M6~M12), 구조 (PERC, TOPCon, HIT 등) 및 모듈 (Multi busbar, half cut 등) 대응을 위한 다수의 장비에 연결하여 사용됨.
- 각 공정 장비들은 목적에 맞는 공정을 위한 부대 소재 및 처리가 필요하며 습식 공정 시 초순수, 건식 공정 시 유해 가스 처리장치, 자동화 공정의 장비 온도 제어를 위한 냉각수 및 장비 기계적 제어를 위한 압축 공기를 사용함.
1) 초순수 제조 장치
- 본 장치는 결정질 실리콘 태양전지 제조를 위한 웨이퍼 식각 및 세정에 활용되는 초순수를 공급하기 위한 것으로써 웨이퍼 표면조직화 및 불순물 감소에 기여하여 효율 개선에 중요함.
- 자동화 설비, 안정적인 요구 수질을 연속적 생산 및 공급 가능.
- 초순수 제조 장치 용량은 사용 장비 별 Utility Matrix 공급 합산 유량을 기준으로 설계.
- 생산 초순수 비저항 ≥18.0 MΩ∙㎝
2) 유해 가스 처리 장치
- 본 장치는 공정 후 발생되는 배기가스를 포집하여 배기 특성에 맞는 오염 제어장치를 통해, 정제 후 대기로 방출하는 장치임.
- 제조공정 및 인체에 오염원인이 될 수 있는 요소들을 제거하여 Clean Room 내부의 공기오염을 방지함으로써, 태양광 기업 공동활용 연구센터의 운용 안전성과 결과의 질적 우수성을 확보하는데 활용.
- 공정용 배기가스 장치 용량은 사용 장비 별 Utility Matrix 공급 합산 유량을 기준으로 설계.
- Heat/General 1set, Acid, Alkali 1set, Organic 1set, 폐수처리시설 exhaust system 1set, Dust collector 1set
3) 냉각수 공급 장치
- 본 장치를 통해 양산급 규모의 고온을 요하는 장비 구동에 필요한 대용량 냉각수를 공급함.
- 냉각수 공급 장치 용량은 사용 장비 별 Utility Matrix 공급 합산 유량을 기준으로 설계.
- 냉각수 공급 온도 : 공급 System 온도 23℃±5, 공급 냉각수 온도 18℃±5
- 냉각수 공급 압력 : 공급 System 압력 7.0km/cm2, 공급 냉각수 압력 5.5km/cm2
4) 압축 공기 제조 장치
- 대용량, 다양한 구조의 태양전지 및 모듈 제작 대응을 위한 공정 및 유틸리티 장비의 정밀 자동화 제어, 샘플 이송을 위한 공압기기 구동 및 건조용 청정 건조 압축 공기를 제공.
- 압축 공급 장치 용량은 사용 장비 별 Utility Matrix 공급 합산 유량을 기준으로 설계.
- 수분 및 불순물 제거 후 청정 상태 유지 압축 공기 공급이 가능.
- Particle : 0.1μm 5ea/ft³ 이하
- Pressure : 9kg/cm²
- Temperature : ±40℃
- Dew Point : -40℃ 이하
기관의뢰
고정형
일별
[Hr] 200,000원
태양전지 제조 장비 가동을 위해 필요한 연구장비 구동용 보조장치임.
냉각수 공급장치, 초순수 제조장치, 압축공기제조장치, 유해가스 처리장치로 구성되어 태양전지 제조장비와 태양광 모듈 파일럿라인이 작동하는데 필요한 유틸리티를 공급하는 역할을 수행하고 있음.
1) 초순수 제조 장치
■ 본 장치는 결정질 실리콘 태양전지 제조를 위한 웨이퍼 식각 및 세정에 활용되는 초순수를 공급하기 위한 것으로써 웨이퍼 표면조직화 및 불순물 감소에 기여하여 효율 개선에 중요함.
■ 자동화 설비, 안정적인 요구 수질을 연속적 생산 및 공급 가능.
■ 초순수 제조 장치 용량은 사용 장비 별 Utility Matrix 공급 합산 유량을 기준으로 설계.
■ 시간당 초순수 생산량 ≥10 ton/hour
■ 생산 초순수 비저항 ≥18.0 MΩ∙㎝
■ 생산 초순수 전기전도율 ≤0.1 μΩ/㎝
■ 생산 초순수 전해질농도 ≤0.01 ㎎/l
2) 유해 가스 처리 장치
■ 본 장치는 공정 후 발생되는 배기가스를 포집하여 배기 특성에 맞는 오염 제어장치를 통해, 정제 후 대기로 방출하는 장치임.
■ 제조공정 및 인체에 오염원인이 될 수 있는 요소들을 제거하여 Clean Room 내부의 공기오염을 방지함으로써, 태양광 기업 공동활용 연구센터의 운용 안전성과 결과의 질적 우수성을 확보하는데 활용.
■ 산, 알칼리 배기가스는 중앙집중식 습식 Scrubber로 흡수, 중화 처리.
■ 열 배기 운전 시 결로현상이 생길 수 있어 Main Duct 시공 시 1/200로 구배를 주고 그 낮은 점에 결로수를 버릴 수 있도록 투명 PVC로 배관을 구성 할 것.
■ 알칼리배기의 주성분으로 암모니아(NH3), HMDS(Hexamethyldisilazane), TMAH(Tetraethyl Ammonium Hydroxide) 등으로 흡수 액 황산(Sulfuric Acid)용액 공급 중화 처리 후 대기방출.
■ Toxic 배기가스는 다량의 과 불소화합물(PFCs)이 함유. Burn + Wet + Heat Type의 1차 Scrubber로 처리 후 중앙집중식 습식 Scrubber 거쳐 대기 방출.
■ VOC(Volatile Organic Compounds)는 흡착 또는 열분해(RTO)으로 흡착, 농축 + 열분해 방법을 통해 처리 후 대기 방출.
■ 공정용 배기가스 장치 용량은 사용 장비 별 Utility Matrix 공급 합산 유량을 기준으로 설계.
3) 냉각수 공급 장치
■ 본 장치를 통해 양산급 규모의 고온을 요하는 장비 구동에 필요한 대용량 냉각수를 공급함.
■ 냉각수 공급 장치 용량은 사용 장비 별 Utility Matrix 공급 합산 유량을 기준으로 설계.
■ 냉각수 공급 배관 설계는 Supply & Return 방식이며, 햄머링 현을 방지.
■ 냉각수 공급 온도 : 공급 System 온도 23℃±5, 공급 냉각수 온도 18℃±5
■ 냉각수 공급 압력 : 공급 System 압력 7.0km/cm2, 공급 냉각수 압력 5.5km/cm2
■ 공급 원수 조건 : 사용 원수 조건(0.3MΩcm)
4) 압축 공기 제조 장치
■ 대용량, 다양한 구조의 태양전지 및 모듈 제작 대응을 위한 공정 및 유틸리티 장비의 정밀 자동화 제어, 샘플 이송을 위한 공압기기 구동 및 건조용 청정 건조 압축 공기를 제공.
■ 압축 공급 장치 용량은 사용 장비 별 Utility Matrix 공급 합산 유량을 기준으로 설계.
■ 수분 및 불순물 제거 후 청정 상태 유지 압축 공기 공급이 가능.
■ Particle : 0.1μm 5ea/ft³ 이하
■ Pressure : 9kg/cm²
■ Temperature : ±40℃
■ Dew Point : -40℃ 이하